高純多晶硅潔凈生產(chǎn)工藝-在線瀏覽
2025-07-17 09:23本頁面
【正文】 多晶硅生產(chǎn)過程中需注意的潔凈問題 隨著太陽能光伏和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對多 晶硅純度 的 要求 越來越高。 多晶 硅的質(zhì)量好壞，直接關(guān)系到晶體管的合格率 ， 電學(xué)性能 以及太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的高低。 樹立 “超純 ”觀念，養(yǎng)成嚴(yán)格的工藝衛(wèi)生操作習(xí)慣 （ 操作環(huán)境最好有潔凈室 ） 潔凈在工藝生產(chǎn)中的必要性 可見雜質(zhì)對產(chǎn)品多晶硅中微量元素含量的影響（多晶硅中 C小于等于 即 ， TMI小于等于 ) 例 （一滴油中含碳量為： g） 1cm，寬 ，厚 240kg的多晶硅 1380kg多晶硅 100kg左右的多晶硅 以上數(shù)據(jù)可以表明，可見雜質(zhì)對多晶硅質(zhì)量的影響較大。是指不論室外空氣條件如何變化，仍能使室內(nèi)空氣中微塵粒子，有害氣體，細(xì)菌等污染物排除，并且室內(nèi)溫度，濕度，潔凈度，空氣壓力，氣流分布，氣流速度，噪聲，震動，照明，靜電等特性能控制在某一特定需求范圍內(nèi)。 現(xiàn)在國際上采用的 ISO潔凈室等級的劃分標(biāo)準(zhǔn)是由全球各國際標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體聯(lián)合 會編制的 (ISO14644 Air Cleanliness).有 8個部分組成（潔凈室等級的劃分，潔 凈室的測試方法，潔凈室的設(shè)計與施工，潔凈室的運行，定義及單位，微環(huán)境 與隔離等）。 我們以 ISO1級的潔凈度為例。浮游粒子在空氣中的體積比為 1/10（ 21次方） 16500萬 km平均深度為 4282m、體積為 70700萬 km3。 把一個立方米的空間，等比例放大到象太平洋這樣 巨大的空間，經(jīng)過超高效過濾器的過濾，大于 （微粒）全部被過濾掉了； 只有比它小的魚（微粒）還存在 “太平洋中游弋的一條魚 ” 是一種什么樣的感覺了吧 個行業(yè)潔凈標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體行業(yè)（ CSMC) 個行業(yè)潔凈標(biāo)準(zhǔn) 多晶硅生產(chǎn) 由于多晶硅生產(chǎn)目前還處在發(fā)展階段，企業(yè)對潔凈生產(chǎn)的認(rèn)識隨著太陽能級多晶硅廠商對產(chǎn)品質(zhì)量的不斷提升和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的修訂越來越明朗化。潔凈室主要集中在 以下幾個部分： （ ICPMS 1000級） SiHCl3 （十萬級）
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