鑄錠多晶硅的生產(chǎn)-在線瀏覽
2025-07-09 05:14本頁(yè)面
【正文】 到坩堝中，再用叉車(chē)把石墨護(hù)板、陶瓷坩堝連同多 2 ： 坩堝內(nèi)的液態(tài)硅全部結(jié)晶成固態(tài)后，把爐溫控制在稍比熔點(diǎn)低一些，并讓硅錠整體溫度保持一致，退火處理 3～ 4個(gè)小時(shí)，以消除硅錠內(nèi)部的應(yīng)力和裂紋，減少位錯(cuò)。關(guān)閉爐室，給爐室抽真空并通氬氣。硅的熔點(diǎn)為 1416℃ ，只有在高于此溫度的情況下，硅料才能熔化成液態(tài)。 ： 通過(guò)緩慢提升隔熱系統(tǒng)或緩慢降低坩堝的方法，使下部的液態(tài)硅溫度降低首先凝固成晶體，并從下往上非常緩慢地長(zhǎng)晶，長(zhǎng)晶的速度大約為 。 每開(kāi)一爐的時(shí)間（含停爐冷卻時(shí)間），隨
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