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正文內(nèi)容

鑄錠多晶硅的生產(chǎn)-預(yù)覽頁(yè)

 

【正文】 晶硅料和摻雜劑放入到坩堝中,再用叉車把石墨護(hù)板、陶瓷坩堝連同多 2 : 坩堝內(nèi)的液態(tài)硅全部結(jié)晶成固態(tài)后,把爐溫控制在稍比熔點(diǎn)低一些,并讓硅錠整體溫度保持一致,退火處理 3~ 4個(gè)小時(shí),以消除硅錠內(nèi)部的應(yīng)力和裂紋,減少位錯(cuò)。硅的熔點(diǎn)為 1416℃ ,只有在高于此溫度的情況下,硅料才能熔化成液態(tài)。 每開一爐的時(shí)間(含停爐冷卻時(shí)間),隨裝料量的不等而不同。 鑄錠硅的外形尺寸 從鑄錠爐生產(chǎn)出來的鑄錠硅是方形的。 見圖 17。 : 用于構(gòu)成石墨加熱器、護(hù)板、隔
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