鑄錠多晶硅的生產(chǎn)(更新版)
【正文】 熱交換臺(tái)液體硅陶瓷坩堝下?tīng)t室鑄錠硅坩堝護(hù)板加熱器隔熱材料上爐室 ： 把鑄錠爐室及石墨件清理干凈，把經(jīng)過(guò)氮化硅噴涂及烘烤的方形陶瓷坩堝放置到石墨底板中間，把多晶硅料和摻雜劑放入到坩堝中，再用叉車(chē)把石墨護(hù)板、陶瓷坩堝連同多 2 ： 坩堝內(nèi)的液態(tài)硅全部結(jié)晶成固態(tài)后，把爐溫控制在稍比熔點(diǎn)低一些，并讓硅錠整體溫度保持一致，退火處理 3～ 4個(gè)小時(shí)，以消除硅錠內(nèi)部的應(yīng)力和裂紋，減少位錯(cuò)。 每開(kāi)一爐的時(shí)間（含停爐冷卻時(shí)間），隨裝料量的不等而不同。 見(jiàn)
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