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鑄錠多晶硅的生產(更新版)

2025-06-24 05:14上一頁面

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【正文】 熱交換臺液體硅陶瓷坩堝下爐室鑄錠硅坩堝護板加熱器隔熱材料上爐室 : 把鑄錠爐室及石墨件清理干凈,把經過氮化硅噴涂及烘烤的方形陶瓷坩堝放置到石墨底板中間,把多晶硅料和摻雜劑放入到坩堝中,再用叉車把石墨護板、陶瓷坩堝連同多 2 : 坩堝內的液態(tài)硅全部結晶成固態(tài)后,把爐溫控制在稍比熔點低一些,并讓硅錠整體溫度保持一致,退火處理 3~ 4個小時,以消除硅錠內部的應力和裂紋,減少位錯。 每開一爐的時間(含停爐冷卻時間),隨裝料量的不等而不同。 見
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