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正文內(nèi)容

鑄錠多晶硅的生產(chǎn)-wenkub

2023-04-27 05:14:07 本頁面
 

【正文】 室抽真空并通氬氣。鑄錠硅的生產(chǎn)也是把高純多晶硅裝入到鑄錠爐中,先熔化成液態(tài),通過鑄錠爐的自動化的操作,使液態(tài)硅自下向上緩慢地重新結晶,生成一塊大晶粒的多單晶體的鑄錠硅來。1 第 5節(jié) 鑄錠多晶硅的生產(chǎn) 鑄錠多晶爐和熱場的剖視圖 鑄錠硅是介于原始多晶硅與單晶硅之間的一種產(chǎn)品。 見圖 16。 : 給爐室內(nèi)的石墨加熱器通電加熱。最后生成一個大晶粒的多晶鑄錠硅來,這個過程大概需要 22~ 27個小時左右。方可打開爐室,取出鑄錠硅塊,交檢驗部門進行原始硅塊的初檢
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