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鑄錠多晶硅的生產(chǎn)-文庫吧

2025-03-26 05:14 本頁面


【正文】 16:鑄錠爐室和熱場(chǎng)的剖面示意圖 鑄錠硅的生產(chǎn)過程簡(jiǎn)介 熱交換臺(tái)液體硅陶瓷坩堝下爐室鑄錠硅坩堝護(hù)板加熱器隔熱材料上爐室 : 把鑄錠爐室及石墨件清理干凈,把經(jīng)過氮化硅噴涂及烘烤的方形陶瓷坩堝放置到石墨底板中間,把多晶硅料和摻雜劑放入到坩堝中,再用叉車把石墨護(hù)板、陶瓷坩堝連同多 2 : 坩堝內(nèi)的液態(tài)硅全部結(jié)晶成固態(tài)后,把爐溫控制在稍比熔點(diǎn)低一些,并讓硅錠整體溫度保持一致,退火處理 3~ 4個(gè)小時(shí),以消除硅錠內(nèi)部的應(yīng)力和裂紋,減少位錯(cuò)。 圖 17:鑄錠
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