高純多晶硅潔凈生產(chǎn)工藝-wenkub
2023-05-25 09:23:31 本頁面
【正文】 潔凈在工藝生產(chǎn)中的必要性 可見雜質(zhì)對產(chǎn)品多晶硅中微量元素含量的影響（多晶硅中 C小于等于 即 ， TMI小于等于 ) 例 （一滴油中含碳量為： g） 1cm，寬 ，厚 240kg的多晶硅 1380kg多晶硅 100kg左右的多晶硅 以上數(shù)據(jù)可以表明，可見雜質(zhì)對多晶硅質(zhì)量的影響較大。 高純多晶硅潔凈生產(chǎn)工藝 研發(fā)中心 王顯蘭 1. 潔凈在多晶硅生產(chǎn)中的必要性 2. 潔凈室的定義 3. 潔凈等級及標(biāo)準(zhǔn) 4. 潔凈室的維護(hù)及管理 5. 潔凈室行為規(guī)范 6. 多晶硅生產(chǎn)過程中需注意的潔凈問題 隨著太陽能光伏和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對多 晶硅純度 的 要求 越來越高。 潔凈室（ clean room)又稱無塵室或凈化間。我們重點了解潔凈室等級的劃分 (ISO 146641 Air Cleanliness)潔凈室等級劃分 空氣潔凈 等級 （ N) 國際（ ISO146441 Ail Cleanliness)潔凈室標(biāo)準(zhǔn) 美國（ FS209D)標(biāo)準(zhǔn) 中國 GB 500732021標(biāo)準(zhǔn) 大于或等于表中粒徑的最大濃度值 |（個 |立方米） Ft為英尺 1ft=12英寸 1ft= 1in= 個 |立方英尺 個 |立方米 以 計 ISO Class1 十 2 ISO Class2 一百 24 10 4 ISO Class3 一千 237 102 35 8 1 ISO Class4 一萬 2370 1020 352 83 10 ISO Class5 十萬 23700 10200 3520 832 29 100 ISO Class6 一百萬 237000 102021 35200 8320 293 100
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