高純多晶硅潔凈生產工藝(編輯修改稿)
2025-06-19 09:23 本頁面
【文章內容簡介】 間，經(jīng)過超高效過濾器的過濾，大于 （微粒）全部被過濾掉了； 只有比它小的魚（微粒）還存在 “太平洋中游弋的一條魚 ” 是一種什么樣的感覺了吧 個行業(yè)潔凈標準 半導體行業(yè)（ CSMC) 個行業(yè)潔凈標準 多晶硅生產 由于多晶硅生產目前還處在發(fā)展階段，企業(yè)對潔凈生產的認識隨著太陽能級多晶硅廠商對產品質量的不斷提升和行業(yè)標準的修訂越來越明朗化。 例如 ******硅業(yè) （ 改良西門子法 ） 。潔凈室主要集中在 以下幾個部分： （ ICPMS 1000級） SiHCl3 （十萬級） 。 （三十萬級） 的 整理 和 產品 的 檢測 （三十萬級） 潔凈室內污染的來源，經(jīng)測試如下表。在潔凈室中不規(guī)范的動作會產生大量的塵埃粒子，從而嚴重影響潔凈室的潔凈度。作業(yè)人員進出潔凈室時塵埃粒子有明顯的增加，有人動作時其潔凈度馬上會惡化。 No. 塵埃粒子來源 所占比例 % 1 空氣泄漏 7 2 原材料 8 3 生產過程 25 4 設備 25 5 人員 35 潔凈室內污染來源比例 潔凈室的維護與管理 表一 人體的動作 大于等于 普通工作 服 無塵服 白大掛形 全覆蓋形 站立（靜姿態(tài)） 339000 113000 5580 坐下（靜姿態(tài)） 302021 112021 7420 手腕上下動 2980000 298000 18600 上身前屈 2240000 538000 24200 手腕自由運動 2240000 298000 20600 頭頸上下，左右動 631000 151000 11000 屈身 3210000 305000 37400 原地踏步 2800000 861000 44600 步行 2920210 1010000 56000 單位 。個 |人 .分鐘 人體的不同動作及不同工作服所能產生的微塵粒子數(shù) 潔凈室的維護與管理 表二 人員的動作 環(huán)境周圍之污染增加的倍數(shù) 操作人員動作 45人同時聚集在一起 正常的步行 靜靜地坐下
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