高純多晶硅潔凈生產(chǎn)工藝-文庫(kù)吧
2025-04-24 09:23 本頁(yè)面
【正文】 標(biāo)準(zhǔn) FS 209標(biāo)準(zhǔn)）， 此后不斷修改標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)世界上幾個(gè)主要的國(guó)家根據(jù)自己的需要，分別制 定了自己的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。 現(xiàn)在國(guó)際上采用的 ISO潔凈室等級(jí)的劃分標(biāo)準(zhǔn)是由全球各國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體聯(lián)合 會(huì)編制的 (ISO14644 Air Cleanliness).有 8個(gè)部分組成（潔凈室等級(jí)的劃分，潔 凈室的測(cè)試方法，潔凈室的設(shè)計(jì)與施工，潔凈室的運(yùn)行，定義及單位，微環(huán)境 與隔離等）。我們重點(diǎn)了解潔凈室等級(jí)的劃分 (ISO 146641 Air Cleanliness)潔凈室等級(jí)劃分 空氣潔凈 等級(jí) （ N) 國(guó)際（ ISO146441 Ail Cleanliness)潔凈室標(biāo)準(zhǔn) 美國(guó)（ FS209D)標(biāo)準(zhǔn) 中國(guó) GB 500732021標(biāo)準(zhǔn) 大于或等于表中粒徑的最大濃度值 |（個(gè) |立方米） Ft為英尺 1ft=12英寸 1ft= 1in= 個(gè) |立方英尺 個(gè) |立方米 以 計(jì) ISO Class1 十 2 ISO Class2 一百 24 10 4 ISO Class3 一千 237 102 35 8 1 ISO Class4 一萬(wàn) 2370 1020 352 83 10 ISO Class5 十萬(wàn) 23700 10200 3520 832 29 100 ISO Class6 一百萬(wàn) 237000 102021 35200 8320 293 1000 ISO Class7 352021 83200 2930 10000 ISO Class8 3520210 832021 29300 100000 ISO Class9 35202100 8320210 293000 潔凈度 談到凈化廠房的潔凈度時(shí)，可以舉 “ 在太平洋中游弋的一條魚(yú) ” 的例子來(lái)比喻 “ 浮游在 空氣中的灰塵微粒 ” ，目的是讓大家親身感覺(jué)到半導(dǎo)體潔凈室方面的那種極其潔凈的 程度。 我們以 ISO1級(jí)的潔凈度為例。 1. ISO1級(jí) 1m3空氣中 ＜ 10個(gè) 。浮游粒子在空氣中的體積比為 1/10（ 21次方） 16500萬(wàn) km平均深度為 4282m、體積為 70700萬(wàn) km3。 如果與 ISO 1級(jí)相同的粒子比例進(jìn)行換算， 70700萬(wàn) km3的 10（ 21次方）僅 l， l也就大約相當(dāng)于一條魚(yú)的體積。 把一個(gè)立方米的空間，等比例放大到象太平洋這樣 巨大的空
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