多晶硅生產(chǎn)工藝---改良西門子法-在線瀏覽
2025-01-13 15:25本頁面
【正文】 全等方面也存在差異，各有技術(shù)特點(diǎn)和技術(shù)秘密，總的來說，目前國(guó)際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有：改良西門子法、硅烷法和流化床法。但這種提煉技術(shù)的核心工藝僅僅掌握在美、德、日等 7 家主要硅料廠商手中。短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會(huì)改變。尤其對(duì)于中國(guó)的企業(yè)，由于技術(shù)來源的局限性，選擇改良西門子法仍然是最現(xiàn)實(shí)的作法。 西門子改良法生產(chǎn)工藝如下： 這種方法的優(yōu)點(diǎn)是節(jié)能降耗顯著、成本低、質(zhì)量好、采用綜合利用技術(shù)，對(duì)環(huán)境不產(chǎn)生污染，具有明顯的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 （ 1） 石英砂在電弧爐中冶煉提純到 98%并生成工業(yè)硅， 其化學(xué)反應(yīng) SiO2+C→Si+CO2↑ （ 2）為了滿足高純度的需要，必須進(jìn)一步提純。 其化學(xué)反應(yīng) Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反應(yīng)溫度為 300 度，該反應(yīng)是放熱的。 （ 3）第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還需要進(jìn)一步提純，需要分解 :過濾硅粉，冷凝 SiНС13,SiC14，而 氣態(tài) Н2,НС1 返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。 （ 4）凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝，以高純的 SiHCl3 在 H2 氣氛中還原沉積而生成多晶硅。 多晶硅的反應(yīng)容器為密封的，用電加熱硅池硅棒（直徑 510 毫米，長(zhǎng)度 米，數(shù)量 80 根），在 10501100 度在棒上生長(zhǎng)多晶硅，直徑可達(dá)到 150200 毫米。剩余部分同Н2,НСl,SiНС13,SiCl4 從反應(yīng)容器中分離。氣態(tài)混合物的分離是復(fù)雜的、耗能量大的，從
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