靜電防護管理程序-展示頁
2024-10-17 09:16本頁面
【正文】 修 正日期 : . 2020 頁數(shù)編號 : 1/6 文件編號 : GP10051 049 修正版本 : 03 靜 電 防 護 管 理 程 序 一 . 目 的 : 為做好工廠 ESD 防護 , 防止靜電對靜電敏感元件產生破壞 ,特制訂 此作業(yè)程序。 二 . 範 圍 : 所有靜電敏感元件入廠 , 經拆除原包裝後 , 凡會直接接觸該元件 之作業(yè)區(qū)域 , 均須設立相關防護設施及標示 , 以防止該元件遭靜電破壞。 量測方法 : 用萬用表歐姆檔 , 測量各段接地線與 總地線是否相通。 檢驗頻率 : 1 次 /月 , 見附表 312 設備接地 : 凡檢驗儀器、加工機臺、測試設備等 , 均須有接地裝置 , 加裝接地線報警器或每月 CHECK 接地性 ,與設備維護合併。 靜電檢測 : 靜電壓測試 (1). 檢測儀器 : 靜電壓測試儀 (3M 709) (2). 檢測方法 : 步驟 1. 選擇量程 (置 RANGE 於“ LO”位置 ) 步驟 2. 檢查電池 (置 TEST 於“ BATT”位置 ), 讀數(shù)須 ≧ 700 步驟 3. 歸零 (置 TEST 於“ ZERO”位置 ) 步驟 4. 測試 : 由遠及近靠近被測物體 ,當 Sensor 距物體約 1 英寸時 , 此刻讀數(shù)即為測量值 (3). 檢測區(qū)域 : a . SMD 作業(yè)區(qū) b . 加工站 c . VQA 半導體入料檢驗區(qū) d . 生產線各段 e. DCDC (4). 檢測頻度 : SMD 為 1 次 /周 ,其它區(qū)域 1 次 /月 (5). 記錄表單 : 見附表 313a、 313b、 313c 、 313d 修正日期 : . 2020 頁數(shù)編號 : 3/6 文件編號 : GP10051 049 修正版本 : 03 表面阻抗值測試 : 靜電桌布及靜電料盒檢測 : (1). 儀 器 : 表面阻抗測試器 (2). 檢測方法 : 步驟 1. 將儀器之 Sensor 與被測表面接觸 步驟 2. 按下 Power 綠色按鈕 , LED 亮點對應指數(shù)值即為 被測表面阻抗值 (3). 檢測標準 : a . 靜電桌墊表 面阻抗為 106 ~ 109 ? PER SQUARE b . 靜電料盒表面阻抗為 104 ~ 109 ? PER SQUARE (4). 檢測頻度 : 1 次 /月 (5). 處理方法 : 將不良品料盒及桌墊挑出報廢 , 良品則以下標簽標識 : 靜電地板檢測 : (1). 儀 器 : 表面電阻率測試器 (3M 701) (2). 檢測標準 : 接地阻抗為 ~ 5M? PER SQUARE (3). 檢測頻率
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