北航材料分析測試技術(shù)電子顯微鏡-文庫吧資料
2025-01-03 02:54本頁面
【正文】 MD?? 透射電子顯微鏡 透射電鏡和 光鏡的光路圖 照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中、傾斜調(diào)節(jié)裝置組成，其作用是提供一束亮度高、相干性好和束流穩(wěn)定的照明源。 Q R D?QRxD ?? 電子光學基礎(chǔ) ——場深和焦深 ? 焦深 在 范圍內(nèi)移動屏幕， 點的像不會發(fā)散，但也不會變小。 opt? minr??最佳孔徑角 和最小分辨距離 ： dr???? s sr r r C? ??? ? ? ? ? ? ? 電子光學基礎(chǔ) ——場深和焦深 ? 場深（景深） 在 之間的任意點無論怎樣聚焦，其像不會比 xi小。 ?電子顯微鏡的分辨距離就是所有像差引起的圓斑半徑之和。 電子光學基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 ? 像散 像散缺陷，是由于透鏡內(nèi)孔和極靴孔不完全對稱、極靴材料內(nèi)部的不均性、極靴污染等原因造成的不同徑向的焦距不同而引起的。 （ a)無畸變 （ b）枕形畸變 （ c）桶形畸變（ d） S形畸變 電子光學基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 ? 色差 色差系數(shù)與透鏡的磁場強度有關(guān)，磁場強度越大， 越小。 sC 電子光學基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 畸變： 球差引起的另外一種像缺陷叫做畸變，在電鏡中觀察到的畸變是投影鏡的球差造成的。 透射電子顯微鏡的主要功能 ? 成像： 明場像，暗場像 格子像，原子像 ? 衍射 電子光學基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 ? 球面像差 離光軸遠的透鏡邊緣部分對電子束有強會聚能力，使邊緣部分的電子會聚在靠近物的一方，使物體上一個點在像平面上形成一定尺寸的模糊圓斑。 1924年，德布羅意（ de Broglie）提出電子具有波動性； 1926年，布什（ Busch）發(fā)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)對稱非均勻磁場可作為電磁透鏡； 1931年， Rudenberg 提出電子顯微鏡的概念并提出專利申請； 1933年，克諾爾（ Knoll）和盧斯卡（ Ruska）制造出第一臺電子顯微鏡； 1936年， Boersch證明了電子束經(jīng)過電磁透鏡聚焦后在后（背）焦面上形成衍射花樣； 1939年，西門子公司生產(chǎn)出第一批商品透射電子顯微鏡； 1944年， Le Poole在電子顯微鏡中加入衍射透鏡（即中間鏡）和選區(qū)光闌后實現(xiàn)選區(qū)電子衍射； 20世紀 50年代， Ruska在商業(yè)電子顯微鏡中實現(xiàn)選區(qū)電子衍射； 20世紀 60年代，會聚束電子衍射實現(xiàn)； 儀器的發(fā)展 儀器的發(fā)展 20世紀 70年代，用于成分分析的 X射線能譜儀和電子能量損失譜儀開始使用； 20世紀 90年代，物鏡球差系數(shù)校正器的問世使球差系數(shù)從正值可變到負值，提高了電子顯微鏡的分辨率。 電磁透鏡聚焦原理 電子光學基礎(chǔ) ——電磁透鏡 ? 成像公式 －物距 －像距 －透鏡焦距 ? 放大倍數(shù)
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