北航材料分析測試技術(shù)電子顯微鏡-全文預(yù)覽
【正文】 。電子槍可分為 熱電子發(fā)射型和 場發(fā)射型 兩種類型。為滿足中心暗場成像的需要，照明電子束可在 2176。 Q R D?QRxD ?? 電子光學(xué)基礎(chǔ) ——場深和焦深 ? 焦深 在 范圍內(nèi)移動屏幕， 點的像不會發(fā)散，但也不會變小。 ?電子顯微鏡的分辨距離就是所有像差引起的圓斑半徑之和。 （ a)無畸變 （ b）枕形畸變 （ c）桶形畸變（ d） S形畸變 電子光學(xué)基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 ? 色差 色差系數(shù)與透鏡的磁場強度有關(guān)，磁場強度越大， 越小。 透射電子顯微鏡的主要功能 ? 成像： 明場像，暗場像 格子像，原子像 ? 衍射 電子光學(xué)基礎(chǔ) ——電磁透鏡的像差 ? 球面像差 離光軸遠(yuǎn)的透鏡邊緣部分對電子束有強會聚能力，使邊緣部分的電子會聚在靠近物的一方，使物體上一個點在像平面上形成一定尺寸的模糊圓斑。 電磁透鏡聚焦原理 電子光學(xué)基礎(chǔ) ——電磁透鏡 ? 成像公式 －物距 －像距 －透鏡焦距 ? 放大倍數(shù) 放大倍數(shù)受透鏡線圈的 電流控制 1 1 1a b f??afbbMa? 透射電子顯微鏡 電子顯微鏡由鏡筒、真空系統(tǒng)和電源柜三部分組成。 （ a）光線通過玻璃透鏡 （ b）電子通過電場 的軌跡 電子光學(xué)基礎(chǔ) ——電磁透鏡 ? 有電流通過的長線圈中間可看作均勻磁場，這樣的線圈起聚焦作用，沒有放大作用。 ? 電子的波動性 80 20 6( 1 78 10 )2 ( 1 )2heV VVe m Vme???????(197。瑞利即以這種條件作為光學(xué)系統(tǒng)能分辨兩物點的最小距離，這個極限稱為瑞利判據(jù)。 電子顯微鏡 光學(xué)顯微鏡分辨本領(lǐng) L：透鏡 D：光闌 α ：透鏡對物點張角的一半。 光學(xué)顯微鏡分辨本領(lǐng) ? 瑞利（ Rayleigh）判據(jù)： A1和 A2逐漸接近時，A1’和 A2’之間的亮度約為亮度最大值的 80％，人們?nèi)匀荒芊直媸莾蓚€像。 ?si ndn???? ? 電子的粒子性 質(zhì)量： 1023 克； 電量：－ 1010 庫侖； 在電子顯微鏡中，電子的加速電壓一般在幾十千伏以上，根據(jù)相對論，電子的質(zhì)量隨速度的增加而增大。 2211si nsi nvnvn?? ? ? ? 常數(shù) 可見光 電子
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