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cell工程工藝簡(jiǎn)介ppt課件-文庫(kù)吧資料

2024-09-04 21:51本頁(yè)面
  

【正文】 eal膠 PI膜 Ag涂布 Pad 顯示區(qū) 適用于 TN型產(chǎn)品 IPS型產(chǎn)品不需要轉(zhuǎn)移電極 另一種獲得 V的方法 Seal膠內(nèi)摻入金球 ,通過(guò)接觸孔導(dǎo)通 優(yōu)點(diǎn): V更均勻 Seal膠 Cell工藝簡(jiǎn)介 35 液晶滴下( ODF) 目的:為了形成要求的 Gap值,在 TFT基板上滴 下合適的液晶量。 ( 計(jì)量部 ) Index Table 散布 Chamber ( 供給部 ) 圧送 ( 窒素 ) 秤量皿 SUS配管 散布1 散布2 散布4 散布3 散布 nozzle ● ● ● ● 散布用( 4箇所) 圧送用( 1箇所) 固定Nozzle 品種切替 條件変更 秤量皿 = 秤量交換 Hopper Chamber単層構(gòu)造:塩化 Vinyl內(nèi)壁 高電圧印加 ?Spacer積層付著防止 Spacer通過(guò)固定的 NOZZLE 經(jīng)過(guò) 4次散布動(dòng)作均勻的撒布 在整個(gè) CF基板上 Cell工藝簡(jiǎn)介 29 Spacer固著原理及裝置概要 Spacer本 體 表面 處理層 Glass 表面 處 理 層 溶解固著 Glass 原理 加熱 裝置構(gòu)造 OVEN(1臺(tái)) Transfer Robot Transfer Unit Transfer Unit Buffer & Cooling Unit Return 無(wú)塵 恒溫槽 HEPA HEATER FAN Side+Center Air Blow ? Center Blow:防止基板破裂 Center Blow Side Blow Cell工藝簡(jiǎn)介 30 Seal( 封框膠 )涂布 Seal涂布 目的: ?連接 CF基板和 TFT基板 ?在 Seal中混入 Spacer,從而有利于控制周邊盒厚 ?防止液晶泄漏 ?有利于後工程的切斷 Seal涂布的工藝特點(diǎn): Seal材 粘度 20Pa?S~700Pa?S 混合 Spacer材: 3~10um 涂布位置精度 80um 涂布幅 寬 涂布高度 2550um 斷面 積 精度 10% 最小 R描畫(huà) 涂布速度 MAX150mm/s(常用 為 20~100mm/s) 基臺(tái)移 動(dòng) 幅度: X方向: 177。 Spacer散布工程的工藝要求特性: 液晶滴下時(shí) Spacer不發(fā)生移動(dòng) 在工藝過(guò)程中基板上不附著 US Cleaner不可去除的不純物 Cell工藝簡(jiǎn)介 28 Spacer散布原理及裝置概要 N2高速気流 【SUS配管斷面 】 在稱量皿中放入 Spacer, 通過(guò) SUS配管中一定流量 的氮?dú)鈮毫?Spacer抽送 至 NOZZLE進(jìn)行散布。 摩擦后洗凈 Cell工藝簡(jiǎn)介 25 在 25℃ 條件下 IPA 純水 表面張力 (涂附性) ○ ( 21mN/m) ? (72mN/m) 預(yù)傾角 ○ ○ 配向性 ( D△ 光學(xué)異向性) △ ○ 表示品質(zhì) ○ ○ IPA與純水洗凈比較: 項(xiàng)目 規(guī)格 頻度 目的 摩擦污染物的 除去性 M、 L Size Total,增加量在 50個(gè)以下 1回 /2周 洗凈能力確認(rèn) 洗凈均一性 水回流,不發(fā)生 1回 /3Lot 再附著防止 靜電 基板內(nèi), 200V以下 1回 /1日 靜電破壞防止 摩擦后洗凈工藝管理項(xiàng)目 Cell工藝簡(jiǎn)介 26 3. Cell中工程簡(jiǎn)介 Cell工藝簡(jiǎn)介 27 Spacer散布與固著 Spacer散布工程的工藝要求特性: 散布密度穩(wěn)定性:中心值 ?25p/ mm2 散布的均勻性 沒(méi)有 Spacer凝集體 Spacer散布工程的目的: 為在 ARRAY基板和 CF基板間形成均勻的盒厚,在 CF基板上均勻的散布顆粒狀的 Spacer。 配向膜形成的一般過(guò)程 印刷時(shí) 燒成后 Cell工藝簡(jiǎn)介 18 S1采用混合型配向材 印刷時(shí) 其他類型配向材: Cell工藝簡(jiǎn)介 19 燒成設(shè)備構(gòu)成: 冷卻部 (6段 空冷) 基板流向 IR Heater (20段) 燒成爐 搬送 Robot IR Heater D/A Heater 流量、溫度 控制 導(dǎo)流板 基板 石英管 Cel
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