cell工程工藝簡介ppt課件-在線瀏覽
2024-10-02 21:51本頁面
【正文】 )洗凈： 紫外線（ UV）使 O2生成 O3 ，并進一步分解為具有強氧化性氧自由基（ O） ,使有 機物氧化分解達到洗凈效果。TFTLCD Cell工藝簡介 錢志剛 ２００6/7 Cell工藝簡介 2 1. Cell工程簡介 Cell工程目的： 把 Array工程制作的 TFT基板和彩膜（ CF）基板，經(jīng)過一系列處理后制作 成合格的液晶屏（ Panel），流到模組（ Module）工程。 玻璃 液晶 偏光板 透明電極 配向膜 彩膜 玻璃 偏光板 配向膜 Cell工程主要分為前、中、后三部分： ● 前工程：配向處理 ● 液晶滴下（ ODF） 真空貼合 ● 切斷、貼偏光板 液晶屏基本結(jié)構(gòu) Cell工藝簡介 3 Cell工藝流程 CF基板 TFT基板 投入洗凈 投入洗凈 配向膜印刷 配向膜印刷 配向膜燒成 配向膜燒成 摩擦 摩擦 摩擦后洗凈 Seal涂布 及 Ag涂布 Spacer散布 CF基板 TFT基板 Spacer固著 真空貼合 液晶滴下 UV硬化 本硬化 個片切斷 屏洗凈 研磨、洗凈 偏光板貼付 自動除泡 屏檢 前工程 中工程 后工程 Cell工藝簡介 4 Cell Shop布局 Cell工藝簡介 5 2. Cell前工程簡介 Cell前工程目的： 在 TFT和 CF基板表面均勻的印刷一層配向膜并固化，通過摩擦處理，使其對液晶分子具有配向控制力，使液晶分子具有正確、穩(wěn)定的取向，并形成一定的預(yù)傾角。 EUV的原理相同，只是其波長更短（即光子能量更高），產(chǎn)生 O的能力更強，因而 洗凈效果更好。它針對的主要是大粒徑的異物粒子。經(jīng)過氣刀干燥的基板還需要進一步干燥?；褰?jīng)過 IR干燥后需要冷卻，一般有冷板（ Cold Plate）型和空冷型。所使用的配向材為聚酰亞胺 (PI， Polyimide)。 Cell工藝簡介 14 ＜Ｄｏｃｔｏｒ Ｒｏｌｌ方式 ＞ Aniｌox Roll 版胴 Ｄｏｃｔｏｒ Ｒｏｌｌ （EPDM） ＜ Ｓｃｒａｐｅｒ方式＞ 版胴 Ｓｃｒａｐｅｒ （PET樹脂 ） Aniｌox Roll S1采用方式 配向膜印刷的基本方式： （凸版印刷） Cell工藝簡介 15 擴大圖 ＣＥＬＬ深 度 10μm 40μm CELL個數(shù) 160,000個 /平方ｉｎｃｈ ＣＥＬＬ Anilox Roll表面狀態(tài)： 印刷版表面狀態(tài)： Cell工藝簡介 16 配向膜印刷工藝管理項目： 目的 管理內(nèi)容 方法 配向膜厚的 均一性 配向材的滴下量 電子天平測量 Anilox Roll的表面狀態(tài) 用溶劑清洗 Anilox Roll上的凹槽 滾輪之間及版胴與基板間的平行度 紙壓測定法測滾筒間的平行度； 幅寬法測版胴與基板間的平行度 UV照度及照射時間 測定照度；確認照射時間 印刷位置精度 印刷位置 實際測定及版的印刷位置有無偏差 防止異物附著 滾筒回轉(zhuǎn)及搖動的驅(qū)動裝置的狀態(tài) 可視化氣流目測有無發(fā)塵 Cell工藝簡介 17 配向膜燒成 配向膜燒成目的： 配向膜印刷之后進行預(yù)干燥，配向膜中溶劑成分部分揮發(fā)，燒成時基板被加熱到更高溫度，使溶劑全部揮發(fā)，并且配向材固化（亞胺化）形成 Polyimide。在摩擦洗凈工程中，為了保證配向的均一性，必須保證洗凈的均一性。 Spacer固著工程的目的： 為避免 Spacer的位置受滴下的液晶流動的影響，通過加熱將已散布的 Spacer固著在 CF基板上。 （Ｖｅｎｔｕｒｉ ｔｕｂｅ現(xiàn)象 ） Spacer在高壓氮氣的作用下 在 SUS配管內(nèi)與管壁摩擦碰撞 從而帶上負靜電，并分散開。 330mm Y方向： +630mm,550mm Cell工藝簡介 31 ③ Syringe裝填 ① Seal材と Seal內(nèi) Spacer材の調(diào)合 ② 攪拌：５分間 ④ 脫泡 （遠心真空） ８０Ｐａ以下? ３．５時間 ⑤ 裝置 Set 回転數(shù)： 1600rpm Seal內(nèi) Spacer材 Seal容器 Seal 脫泡 Cell工藝簡介 32 配向膜 ＩＴＯ膜 Ａｇ 表示
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