《cell工程工藝簡(jiǎn)介》ppt課件(文件)
【正文】 Particle檢測(cè)裝置 發(fā)塵相關(guān)的異物不良 處理枚數(shù)管理，空燒 基板冷卻 基板表面溫度測(cè)試 Rubbing，配向不良 IR溫度時(shí)間，搬送速度 靜電 靜電計(jì) 靜電破壞 除電方法位置，搬送速度 Cell工藝簡(jiǎn)介 21 摩擦取向 摩擦處理的目的： ，使配向膜具有配向液晶的能力 玻璃基板 摩擦布 摩擦處理過(guò)程： US Cleaner US Cleaner Cell工藝簡(jiǎn)介 22 摩擦取向原理： 配向材分子 PI 摩擦前 摩擦后 摩擦方向 Cell工藝簡(jiǎn)介 23 摩擦工藝管理項(xiàng)目 項(xiàng)目 要求特性 常見對(duì)應(yīng)不良 摩擦處理均一性 基板顯示領(lǐng)域均被均一處理 摩擦強(qiáng)度低時(shí)會(huì)造成配向能力低，摩擦強(qiáng)度高時(shí)會(huì)造成膜剝離 預(yù)傾角安定性 預(yù)傾角在規(guī)定值以內(nèi) 預(yù)傾角過(guò)低會(huì)引起配向不良 潔凈度 摩擦工程的發(fā)塵量在規(guī)定值以內(nèi) 若發(fā)塵量過(guò)大，將造成粒子污染 剝離帶電量 帶電量在適當(dāng)范圍以內(nèi) 帶電量過(guò)大，將造成靜電破壞 Cell工藝簡(jiǎn)介 24 摩擦后洗凈目的： 除去摩擦工程后基板上的異物及污染物，防止異物不良和配向不良，包括有機(jī)污染物（摩擦布）和異物粒子（摩擦布、配向膜殘屑）、離子性不純物等。 Spacer散布工程的工藝要求特性： 液晶滴下時(shí) Spacer不發(fā)生移動(dòng) 在工藝過(guò)程中基板上不附著 US Cleaner不可去除的不純物 Cell工藝簡(jiǎn)介 28 Spacer散布原理及裝置概要 Ｎ２高速気流 【ＳＵＳ配管斷面 】 在稱量皿中放入 Spacer， 通過(guò) SUS配管中一定流量 的氮?dú)鈮毫?Spacer抽送 至 NOZZLE進(jìn)行散布。 Ａｇ ｐａｄ 正常 量ＮＧ（多） ↓ 盒厚不均 Ａｇ ｐａｓｔｅ Ａｇ ｐａｓｔｅ Ａｇ涂布前 Ｐａｄ狀態(tài) Ａｇ涂布后形狀 量ＮＧ（少） ↓ 接觸 不良 Ａｇ ｐａｓｔｅ 位置ＮＧ ↓ 接觸 不良 Ａｇ ｐａｓｔｅ Ag涂布穩(wěn)定性 正常 Cell工藝簡(jiǎn)介 34 Seal – PI – Ag涂布的位置關(guān)系： Seal膠 PI膜 Ag涂布 Pad 顯示區(qū) 適用于 TN型產(chǎn)品 IPS型產(chǎn)品不需要轉(zhuǎn)移電極 另一種獲得 V的方法 Seal膠內(nèi)摻入金球 ,通過(guò)接觸孔導(dǎo)通 優(yōu)點(diǎn)： V更均勻 Seal膠 Cell工藝簡(jiǎn)介 35 液晶滴下（ ODF） 目的：為了形成要求的 Gap值，在 TFT基板上滴 下合適的液晶量。 6 μ m以內(nèi) Gap精度： Gap均一 到達(dá)真空度： 真空到達(dá)時(shí)間： 60秒內(nèi)達(dá)到 1Pa以下； 120秒內(nèi)達(dá)到 真空貼合 Cell工藝簡(jiǎn)介 41 真空 Chamber（高真空） Ｓｅａｌ 液晶 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 真空 Chamber（低 真空） Ｓｅａｌ 液晶 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 氣泡 Ｓｐａｃｅｒ 大氣開放 大氣開放 真空貼合過(guò)程： 1. 若沒(méi)有達(dá)到要求的真空度，則貼合之后的面板會(huì)出現(xiàn) Gap不良，發(fā)生氣泡 2. 排氣速度（在液晶脫泡不充分或者排氣速度太快的情況下，會(huì)導(dǎo)致液晶飛濺出來(lái)，若飛濺到seal材上，則會(huì)導(dǎo)致 seal材接著不良，液晶泄漏。 mask 熱風(fēng) Seal材充分硬化達(dá)到高信賴性，同時(shí)通過(guò)加熱再降溫使液晶 Isotropic化，進(jìn)行重新再配向 熱風(fēng)爐 （ Oven） （UV硬化 ） （本硬化 ） Cell工藝簡(jiǎn)介 44 UV硬化原理示意 UV光照射會(huì)使 asi內(nèi)產(chǎn)生電子遷移，破壞 TFT的 Tr特性，故 采用 MASK遮擋 TFT部。 刀片結(jié)構(gòu)： 由于垂直裂縫在切斷后無(wú)法被觀察到 ， 而它與 Rib mark有正比關(guān)系因此將 Rib mark作為考察垂直裂縫的標(biāo)準(zhǔn) 。 研磨、洗凈 Cell工藝簡(jiǎn)介 51 Cell工藝簡(jiǎn)介 52 研磨、洗凈設(shè)備構(gòu)成 Cell工藝簡(jiǎn)介 53 屏洗凈 目的： 偏光板帖付前除去屏上付著的異物。 裝置示意圖 Cell工藝簡(jiǎn)介 58 。 Cell工藝簡(jiǎn)介 54 研磨帶結(jié)構(gòu)： Cell工藝簡(jiǎn)介 55 偏光板貼付 目的：根據(jù)屏的液晶配向方向，將偏光板的偏光軸與之重合進(jìn)行貼付。 ② .液晶屏玻璃端面處理，防止后續(xù)工程中出現(xiàn)缺口以及劃傷驅(qū)動(dòng) IC等。 Cell工藝簡(jiǎn)介
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