能譜儀的結(jié)構(gòu)原理及使用-文庫吧資料
2025-05-18 06:01本頁面
【正文】 GENESIS60E（見圖 3） ①根據(jù)計(jì)數(shù)率選擇時(shí)間常數(shù) (Amp time),使死時(shí)間在 20%40%之間。 放大倍數(shù)越大，作用樣品區(qū)域越小。 ? 調(diào)整電子束對(duì)中和束斑尺寸，使輸入計(jì)算率達(dá)到最佳。 ? 調(diào)理電鏡加速電壓。 三、實(shí)驗(yàn)步驟與方法 ? 樣品和電子掃描顯微鏡 （ 1） 為了得到較精確的定性、定量分析結(jié)果，應(yīng)該 對(duì)樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚恚M量使樣品表面平整、光潔和導(dǎo)電。本軟件中提供了兩種定量分析方法：無標(biāo)樣定量分析法和有標(biāo)樣定量分析析法。根據(jù)實(shí)際情況，人們尋求并提出了測(cè)量未知樣品和標(biāo)樣的強(qiáng)度比方法，再把強(qiáng)度比經(jīng)過定量修正換算呈濃度比。 ? ②手動(dòng)定性分定性分析 自動(dòng)定性分析優(yōu)點(diǎn)是識(shí)別速度快，但由于能譜譜峰重疊干擾嚴(yán)重，自動(dòng)識(shí)別極易出錯(cuò)為此分析者在儀器自動(dòng)定性分析過程結(jié)束后，還必須對(duì)識(shí)別錯(cuò)了的元素用手動(dòng)定性分析進(jìn)行修正。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 （ 4）定性分析 為保證定性分析的可靠性，采譜時(shí)必須注意兩條： 第一，采譜前要對(duì)能譜儀的能量刻度進(jìn)行校正，使儀器的零點(diǎn)和增益值落在正確值范圍內(nèi)； 第二，選擇合適的工作條件，以獲得一個(gè)能量分辨率好，被分析元素的譜峰有足夠計(jì)數(shù)、無雜峰和雜散輻射干擾或干擾最小的 EDS譜。 在分析電子顯微鏡的分析中，電子束在試樣中的擴(kuò)展對(duì)空間分辨率是有影響的，加速電壓、入射電子束直徑、試樣厚度、試樣的密度等都是決定空間分辨率的因素。 ? 超薄窗口型 （ UTW type : ultra thin window type ） 它吸收 X射線少，可以測(cè)量 C(Z＝ 6)以上的比較輕的元素。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 圖 1 EDS系統(tǒng)框圖 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 為了使硅中的鋰穩(wěn)定和降低 FET的熱噪聲，平時(shí)和測(cè)量時(shí)都必須
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