能譜儀的結構原理及使用(已修改)
2025-05-26 06:01 本頁面
【正文】 一、實驗目的 ? 結合場發(fā)射掃描電鏡 Sirion 200附件 GENESIS60E型 X射線能譜儀，了解能譜儀的結構及工作原理。 ? 結合實例分析，熟悉能譜分析方法及應用。 ? 學會正確選用微區(qū)成分分析方法及其分析參數的選擇。 二、能譜儀結構及工作原理 X射線能量色散譜分析方法是電子顯微技術最基本和一直使用的、具有成分分析功能的方法，通常稱為 X射線能譜分析法，簡稱EDS或 EDX方法。 二、能譜儀結構及工作原理 ? 特征 X射線的產生 ? 產生 ： 內殼層電子被轟擊后跳到比費米能高的能級上，電子軌道內出現的空位被外殼層軌道的電子填入時，作為多余的能量放出的就是特征 X射線。 ? 特點： 特征 X射線具有元素固有的能量，所以，將它們展開成能譜后，根據它的能量值就可以確定元素的種類，而且根據譜的強度分析就可以確定其含量。 二、能譜儀結構及工作原理 ? X射線探測器的種類和原理 展成譜的方法： ? X射線能量色散譜方法 (EDS:energy dispersive Xray spectroscopy) ? X射線波長色散譜方法 (WDS： wavelength dispersive Xray spectroscopy) 在分析電子顯微鏡中均采用探測率高的 EDS。從試樣產生的 X射線通過測角臺進入到探測器中。 二、能譜儀結構及工作原理 圖 1 EDS系統(tǒng)框圖 二、能譜儀結構及工作原理 為了使硅中的鋰穩(wěn)定和降低 FET的熱噪聲，平時和測量時都必須用液氮冷卻 EDS探測器。 保護探測器的探測窗口有兩類 : ? 鈹窗口型（ beryllium window type） 這種探測器使用起來比較容易，但是，由于鈹薄膜對低能 X射線的吸收，所以，不能分析比 Na(Z＝ 11)輕的元素。
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