能譜儀的結(jié)構(gòu)原理及使用-文庫吧
2025-04-20 06:01 本頁面
【正文】 ? 超薄窗口型 （ UTW type : ultra thin window type ） 它吸收 X射線少，可以測(cè)量 C(Z＝ 6)以上的比較輕的元素。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 ?EDS的分析技術(shù) （ 1） X射線的測(cè)量 當(dāng)用強(qiáng)電子束照射試樣，產(chǎn)生大量的 X射線時(shí)，系統(tǒng)的漏計(jì)數(shù)的百分比就稱為死時(shí)間 Tdead,它可以用輸入側(cè)的計(jì)數(shù)率 RIN和輸出側(cè)的計(jì)數(shù)率 ROUT來表示： Tdead＝（ 1－ ROUT/RIN） 100％ 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 （ 2）空間分辨率 圖 2示出入射電子束的直徑和電子束在試樣內(nèi)的擴(kuò)展，即 X射線產(chǎn)生區(qū)域的示意圖。 在分析電子顯微鏡的分析中，電子束在試樣中的擴(kuò)展對(duì)空間分辨率是有影響的，加速電壓、入射電子束直徑、試樣厚度、試樣的密度等都是決定空間分辨率的因素。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 圖 2 入射電子束在試樣內(nèi)的擴(kuò)散 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 （ 3）峰 /背比（ P/B） ? 按照札盧澤克（ Zaluzec）理論，探測(cè)到的薄膜試樣中元素的 X射線強(qiáng)度 N的表示式如下： N=(IσωpN0ρCtΩ)/4επM 式中： I——入射電子束強(qiáng)度； σ——離化截面； ω——熒光產(chǎn)額； ρ——密度； p——關(guān)注的特征 X射線產(chǎn)生的比值； N0——阿弗加德羅常數(shù)； C——化學(xué)組成（濃度）（質(zhì)量分?jǐn)?shù)，％）； t——試樣厚度； Ω——探測(cè)立體角； ε——探測(cè)器效率； M——相對(duì)原子質(zhì)量。 二、能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理 （ 4）定性分析 為保證定性分析的可靠性，采譜時(shí)必須注意兩條：
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