《俄歇電子能譜》ppt課件-文庫吧
2024-11-23 03:17 本頁面
【正文】 法是用具有一定能量的電子束 (或 X射線 )激發(fā)樣品俄歇效應(yīng)，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關(guān)材料表面化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)的信息的方法 。 5 原子外層電子結(jié)構(gòu) 5 6 AES原理 5 俄歇電子： 處于基態(tài)的原子若用光子或電子沖擊激發(fā)使內(nèi)層電子電離后就在原子的芯能級上產(chǎn)生一個空穴，從能量上看是不穩(wěn)定的，并發(fā)生弛豫， K空穴被高能態(tài) L1的一個電子填充，剩余的能量 (Ek— El)用于釋放一個電子即俄歇電子。 7 AES原理 5 俄歇電子能量： 首先考慮孤立原子，設(shè)原子序數(shù)為 Z， 俄歇躍遷為 WXY。 根據(jù)俄歇過程從能量上看 WXY俄歇電子能量 (動能 ): 對從固體中發(fā)射的俄歇電子能量，如果俄歇過程不涉及價帶，只需考慮俄歇電子必須克服逸出功才能逸出就行了。所以俄歇電子能量 8 AES俄歇電子能譜儀 5 9 AES工作原理 5 主要組成部分 ： 電子槍 、 能量分析器 、 二次電子探測器 、（ 樣品）分析室 、 濺射離子槍和信號處理與記錄系統(tǒng) 等 10 AES應(yīng)用 5 AES具有五個有用的特征量：特征能量、強度、峰位移、譜線寬和線型。 由 AES的這五方面特征
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