俄歇電子能譜ppt課件(編輯修改稿)
2025-01-04 03:17 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 可獲如下：表面特征化學(xué)組成、覆蓋度鍵中的電荷轉(zhuǎn)移、電子態(tài)密度和表面鍵中的電子能級(jí)等。 采用俄歇電子能譜可得到的信號(hào)種類(lèi)和知識(shí) 11 AES應(yīng)用 表面元素定性鑒定 5 這是一種最常規(guī)的分析方法，也是俄歇電子能譜最早的應(yīng)用之一。一般利用俄歇能譜儀的寬掃描程序 , 收集從 20～ 1700 eV動(dòng)能區(qū)域的俄歇譜。為了增加譜圖的信背比，通常采用微分譜來(lái)進(jìn)行定性鑒定。在分析俄歇能譜圖時(shí)，必須考慮荷電位移問(wèn)題。一般來(lái)說(shuō)，金屬和半導(dǎo)體樣品幾乎不會(huì)荷電，因此不用校準(zhǔn)。但對(duì)于絕緣體薄膜樣品，有時(shí)必須進(jìn)行校準(zhǔn)，以 C 的 KLL峰的俄歇?jiǎng)幽転? eV作為基準(zhǔn)。 12 各元素的俄歇能量 K系列對(duì)于原子序數(shù) Z在 3(Li)和 13(Al)之間 L系列對(duì)于原子序數(shù) Z在 11(Na)和 35(Br)之間 M系列對(duì)于原子序數(shù) Z在 19(K)和 70(Yb)之間 N系列對(duì)于原子序數(shù) Z在 39(Y)和 94(Pu)之間 13 AES應(yīng)用 表面元素的半定量分析 首先應(yīng)當(dāng)明確的是 AES不是一種很好的定量分析方法。它給出的僅是一種半定量的分析結(jié)果，即相對(duì)含量而不是絕對(duì)含量。由 AES提供的定量數(shù)據(jù)是以原子百分比含量表示的，而不是我們平常所使用的重量百分
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