【正文】 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴 。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 :47:4602:47:46March 23, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1知人者智，自知者明。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023年 3月 23日星期四 上午 2時 47分 46秒 02:47: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點點小小努力的積累。 上午 2時 47分 46秒 上午 2時 47分 02:47: ? 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 2023年 3月 上午 2時 47分 :47March 23, 2023 ? 1行動出成果，工作出財富。 2023年 3月 23日星期四 上午 2時 47分 46秒 02:47: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 02:47:4602:47:4602:47Thursday, March 23, 2023 ? 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 02:47:4602:47:4602:473/23/2023 2:47:46 AM ? 1以我獨沈久，愧君相見頻。 半導(dǎo)體加工 秦明 PECVD 半導(dǎo)體加工 秦明 PECVD ? ECR ? N2 ? 2N ? N與 Silane反應(yīng)形成 SixNy ? HDP(High Density Plasma)的低壓強 Torr導(dǎo)致長的平均自由程 ?step coverage差 若系統(tǒng)設(shè)計成有一定的離子轟擊，可以改善臺階 ? PECVD Silicon nitride ? final passivation or scratch protection layer ? 300 – 400℃ , Ar or He SiH4 NH3 or N2 半導(dǎo)體加工 秦明 PECVD 半導(dǎo)體加工 秦明 PECVD ? Si3N4 PECVD Growth rate density atomic content ? PECVD silicon nitride用于 metal interconnect的隔離層 半導(dǎo)體加工 秦明 PECVD(PlasmaEnhanced CVD) 氧化物淀積 氮氧化硅 半導(dǎo)體加工 秦明 Metal CVD ? 濺射的臺階覆蓋不好 ? 過去的技術(shù)： ?“釘頭”降低了布線密度 ? 金屬 CVD可以填充接觸孔 半導(dǎo)體加工 秦明 Metal CVD ? Wu CVD 400oC ? TiN黏附層 半導(dǎo)體加工 秦明 Metal CVD ? CVD TiN 6TiCl4 + 8NH3 6TiN + 24HCl and N2 (700~800 ℃ ) 半導(dǎo)體加工 秦明 ? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 ?氣相顆粒淀積 ?襯底上可能有金屬雜質(zhì) ? 物理損傷和雜質(zhì) drive in ?含 C的 RIE刻蝕 ?30300A硅碳化合物和損傷 ?SiH鍵缺陷 損傷 半導(dǎo)體加工 秦明 HDP刻蝕 ? 磁場的存在，電子的路徑被延長了很多，碰撞幾率增大，導(dǎo)致離子密度和自用基的密度很大。/min ? H3PO4 , 140~200 ℃ ~100A/min ? 3: 10 mixture of 49 % HF(in H2O) and 70 % HNO3 at 70 ℃ RSiO2/RSi100:1 半導(dǎo)體加工 秦明 常見材料的腐蝕 ? Aluminum ?H3PO4 + CH3COOH + HNO3 + H2O ?(~30oC) ?磷酸 H3PO4— 起主要的腐蝕作用