半導體材料和集成電路平面工藝基礎(參考版)
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【正文】 2023/2/1 4:46:1404:46:1401 February 2023? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 01 二月 20234:46:14 上午 04:46:14二月 21? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。勝人者有力，自勝者強。 二月 2104:46:1404:46Feb2101Feb21? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023/2/1 4:46:1404:46:1401 February 2023? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 。 二月 21二月 2104:46:1404:46:14February 01, 2023? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 二月 2104:46:1404:46Feb2101Feb21? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 很多事情努力了未必有結果，但是不努力卻什么改變也沒有。 2023/2/1 4:46:1404:46:1401 February 2023? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 。 二月 21二月 2104:46:1404:46:14February 01, 2023? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 二月 2104:46:1404:46Feb2101Feb21? 1故人江海別，幾度隔山川。 二月 21二月 21Monday, February 01, 2023? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。）光刻極限 (→ 、 90nm→ 40nm、 25nm→? ）新結構器件（ 應變硅 、納電子技術、高 k介質。– 硅基材料、光學晶體、光學薄膜激光多普勒速度儀（ LiNbO3）? 3）、 DNA芯片 *– 基本思想是通過施加電場等措施，使一些特殊的物質能夠反映出某種基因的特性。– 目前主要用硅材料和介質膜通過光刻技術實現(xiàn)厚： 20~30?m直徑： 4mm轉速： 200rpm物理要點：振動的質量塊電容極板在非慣性系統(tǒng)中受到科氏力的作用，質量塊移動而引起電容的變化。 Ch3 ? References： (Processing)3. Silicon Processing， By Stanley Wolf and Richard N. Tauber，（ Lattice Press， 2023）4. ULSI Technology， By G. Y. Chang and Simon. M. Sze， （MiGraw Hill， 1996）5. 半導體制造技術， Michael Quirk, Julian Serda （科學出版社， 1999）Semiconductor Manufacturing Technology, (Prentice Hall, 2023)6. 微電子技術工程 — 材料、工藝與測試，劉玉嶺 等，（電子工業(yè)出版社， 2023）1. The Science and Engine
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