微機(jī)械陀螺簡述,微慣性技術(shù)(參考版)
2025-01-03 04:37本頁面
【正文】 LOGO LOGO 表面工藝制作的微結(jié)構(gòu) 體硅工藝制作的微結(jié)構(gòu) LOGO 壓電驅(qū)動 靜電驅(qū)動電容檢測 電磁驅(qū)動壓阻檢測 隧道效應(yīng)檢測 LOGO 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH 。 其低廉的價(jià)格使其具有廣闊的應(yīng)用前景 ， 有望在一些新的領(lǐng)域中得到應(yīng)用 ， 如車載導(dǎo)航系統(tǒng) 、 天文望遠(yuǎn)鏡 、 工業(yè)機(jī)器人 、計(jì)算機(jī)鼠標(biāo) ， 甚至是玩具上 。/h。 /s 國內(nèi)微機(jī)械陀螺的特點(diǎn)與性能指標(biāo) 72 / /h Hz?67 / /h Hz?LOGO 從國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀來看，微機(jī)械陀螺的特點(diǎn)總結(jié)如下： 機(jī)械結(jié)構(gòu)：圓環(huán)、獨(dú)立梁、框架、雙質(zhì)量塊 驅(qū)動方式：電容驅(qū)動的多 檢測方式：電容檢測的多 使用的材料：都是 Si基，靈敏度 mV級 LOGO 微機(jī)械陀螺應(yīng)用 微機(jī)械陀螺目前精度在 102176。 /s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 176。 /s 清華 角振動 電容檢測 176。/s / 芬蘭 赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 框架式 角振動 電容檢測 信噪比 德國 Bosch公司 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 18mV/?/s 量程為 100186。 LOGO 德國 Bosch公司 諧振方向 諧振方向 柯氏力方向 加速度 傳感 器 質(zhì)量塊 電流回路 加速度傳感器鍵合 電流回路 加速度 傳感器 折疊彈性梁 芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 土耳其安卡拉中東科技大學(xué) 日本 Murata 美國 Michigan大學(xué) LOGO 單位 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 檢測機(jī)理 靈敏度 /分辨率 噪聲 /漂移 美國 Michigan大學(xué) 振動環(huán)式 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s ?/h 日本 Murata 獨(dú)立梁式 電容驅(qū)動 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s / 土耳其安卡拉中東科技大學(xué) 電容驅(qū)動3mm 3mm 電容檢測 真空 24mV/186。 / sec帶寬 [Hz]陀螺性能導(dǎo)航設(shè)備醫(yī)療應(yīng)用頭戴顯示設(shè)備定點(diǎn)設(shè)備平臺穩(wěn)定主動懸浮體汽車安全智能彈藥 LOGO 微機(jī)械陀螺國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ?國外：如美國 Draper實(shí)驗(yàn)室 、 ADI公司 、 Berkeley大學(xué) ，德國 D
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