微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來(lái)趨勢(shì)(參考版)
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【正文】 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 7秒 19:16:0722 January 2023 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 7秒 19:16: 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :16:0719:16Jan2322Jan23 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 , January 22, 2023 閱讀一切好書如同和過(guò)去最杰出的人談話。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 7秒 19:16:0722 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 7秒 19:16: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 19:16:0719:16:0719:16Sunday, January 22, 2023 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 19:16:0719:16:0719:161/22/2023 7:16:07 PM 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 下午 7時(shí) 16分 7秒 下午 7時(shí) 16分 19:16: 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 2023年 1月 下午 7時(shí) 16分 :16January 22, 2023 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 :16:0719:16:07January 22, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見青山。 :16:0719:16Jan2322Jan23 1故人江海別，幾度隔山川。 , January 22, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 智能手機(jī)中 汽車中 空中無(wú)線鼠標(biāo)中 數(shù)碼相機(jī)中 智能機(jī)器人中 應(yīng)用舉例 應(yīng)用前景展望 在 MEMS中還存在著大量具有挑戰(zhàn)性的力 、 磁 、電等問(wèn)題需要研究 , 對(duì)這些問(wèn)題的有效解決則將會(huì)加快推動(dòng)微機(jī)械陀螺儀技術(shù)的發(fā)展 應(yīng)用比重增大 仍然面臨挑戰(zhàn) 過(guò)去幾十年內(nèi) ， 在汽車工業(yè)需求的推動(dòng)下 , 微陀螺技術(shù)取得了長(zhǎng)足進(jìn)展 ， 隨著對(duì)傳感器小型化 、 集成化的應(yīng)用需求 ， 其在應(yīng)用領(lǐng)域中的比重將會(huì)不斷增大 。 隨著先進(jìn)的微電子技術(shù)的發(fā)展 ， 預(yù)計(jì)微機(jī)械陀螺的價(jià)格將會(huì)在一美元到幾百美元之間 。/h左右 ， 還將進(jìn)一步提高到 103 176。/s 中北大學(xué) 諧振式 電容檢測(cè) 176。/s / 復(fù)旦 雙質(zhì)量塊 電容驅(qū)動(dòng) 壓阻檢測(cè) 電橋輸出176。/s 國(guó)外微機(jī)械陀螺的特點(diǎn)與性能指標(biāo) 15 1 / /h Hz?? 北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)，中科院上海微系統(tǒng)所 單位 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 檢測(cè)機(jī)理 靈敏度 噪聲 /漂移 北大 諧振式 電容檢測(cè) 22mv/176。/s 大氣 100μV/186。 ?國(guó)內(nèi)：有北京大學(xué) 、 清華大學(xué) 、 復(fù)旦大學(xué) 、 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 、 中科院上海微系統(tǒng)所 、 中北大學(xué)等 ， 都對(duì)陀螺進(jìn)行了深入的研究 ， 取得了一定的成果 ， 但無(wú)商業(yè)化產(chǎn)品 ， 處于研究階段 。 / sec ]地球轉(zhuǎn)速 ： 4 . 2 10 3176。 微機(jī)械陀螺分類 微機(jī)械陀螺分類 按振動(dòng)結(jié)構(gòu) 按材料 按
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