微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢-文庫吧資料
2025-01-10 23:18本頁面
【正文】 加工方式 旋轉(zhuǎn)振動結(jié)構(gòu) 線性振動結(jié)構(gòu) 振動盤結(jié)構(gòu)陀螺 旋轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)陀螺 正交線振動結(jié)構(gòu) 非正交線振動結(jié)構(gòu) 振動平板結(jié)構(gòu) 振動梁結(jié)構(gòu) 振動音叉結(jié)構(gòu) 加速度計(jì)振動結(jié)構(gòu) 振動平板結(jié)構(gòu) 振動梁結(jié)構(gòu) 振動音叉結(jié)構(gòu) 單晶硅 多晶硅 石英 其它 硅材料 非硅材料 體微機(jī)械加工 表面微機(jī)械加工 LIGA(光刻、電鑄和注塑 ) 表面工藝制作的微結(jié)構(gòu) 體硅工藝制作的微結(jié)構(gòu) 微機(jī)械陀螺分類 微機(jī)械陀螺分類 按驅(qū)動方式 按檢測方式 壓電式 靜電式 電磁式 壓電檢測 電容檢測 壓阻式檢測 光學(xué)檢測 隧道效應(yīng)檢測 按工作模式 速率陀螺 速率積分陀螺 閉環(huán)模式 開環(huán)模式 整角模式 壓電驅(qū)動 靜電驅(qū)動電容檢測 電磁驅(qū)動壓阻檢測 隧道效應(yīng)檢測 微機(jī)械陀螺發(fā)展概述 微 機(jī) 械 陀螺以體積小 、成本低 、 抗過載能力強(qiáng)等優(yōu)勢 ， 可應(yīng)用于導(dǎo)航 、 制導(dǎo) 、汽車 、 電子玩具等領(lǐng)域 ， 成為世界各國研究的熱點(diǎn) 。 4. 測量范圍大 ， 一些 MEMS 陀螺儀測量范圍可高達(dá)數(shù)千 176。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。/s 缺點(diǎn)： 目前，各種微機(jī)械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。 3. 可靠性好 ， 工作壽命超過 10萬小時 ， 能承受數(shù)千甚至上萬 g的 沖擊 。 微機(jī)械陀螺特點(diǎn) MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成和角速度成正比的直流電壓信號 ， 其核心部件通過摻雜技術(shù) 、 光刻技術(shù) 、 腐蝕技術(shù) 、 LIGA技術(shù) 、 封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點(diǎn)是 優(yōu)點(diǎn)： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。 目前 ， 微機(jī)械陀螺基本都是振動式的 ， 因此本文將著重對這類陀螺進(jìn)行介紹 。 微機(jī)械陀螺儀 (MEMS gyroscope)主要有 轉(zhuǎn)子式 、振動式 微機(jī)械陀螺儀和 微機(jī)械加速度計(jì)陀螺儀 三種 。 MEMS在汽車中的應(yīng)用 提高電梯車輛舒適性 提供安全與舒適的轉(zhuǎn)向架監(jiān)控 和診斷系統(tǒng)，改進(jìn)乘客舒適度的高速列車傾斜控制系統(tǒng)，磁懸浮列車的位置監(jiān)控，提供安全與維護(hù)的精準(zhǔn)列車定位和鐵路軌道監(jiān)控系統(tǒng)。 國內(nèi)微機(jī)電加速度計(jì)技術(shù)的研究始于 20世紀(jì) 90年代初，清華大學(xué)、中國電科集團(tuán)第 13研究所、 49研究所、中國航天科技集團(tuán)時代電子公司、上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、北京大學(xué)、東南大學(xué)、中北大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)一重慶大學(xué)、上海交通大學(xué)、北京理工大學(xué)、南京理工大學(xué)等多個單位先后從事這方面的研究工作，研制出的產(chǎn)品已能滿足中低精度的需求。 2O世紀(jì) 9O年代后期，美國加州大學(xué)柏克利分校傳感器與執(zhí)行器研究中心 (The Berkeley Sensor Actuater )， CSDL及Honeywell公司等相繼開
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