俄歇電子能譜aes(參考版)
2025-01-02 15:44本頁(yè)面
【正文】 具有筒鏡能量分析器的 AES，其檢測(cè)靈敏度為%量級(jí)。 信噪比 ： S/N 筒鏡分析器的收集電流為一極窄能量間隔內(nèi)的電流，取得同樣大小信號(hào)， CMA的收集極電流僅為四柵拒斥場(chǎng)分析器的 10－ 4。 10176。 R % 空間分辨率 ：由電子槍束斑 厚度分辨率 ： 5－ 30197。 得： 一次諧波振幅 ∝ dN(E)/dE 信號(hào) → 電子倍增 → 鎖相放大 (只放大頻率為 ω的信號(hào) ) → dN(E)/dE→ 外圓筒電位掃描 → dN(E)/dE－ E曲線 ??????? 220 21)()(dENdEdEdNENEEN ???? tkdENdtkdEdNEN ?? 22220 sin21sin)(… … ！ ！ 〇 能量分辨率 ： 絕對(duì)分辨率 : 譜峰的半寬度 Δ E (FWHM) 相對(duì)分辨率 : R=(Δ E/Eo) 100% （ Eo:通過(guò)分析器后電子的能量峰值） 分辨本領(lǐng)： Eo/Δ E 通常： Δ E： 510eV。 △ 結(jié)構(gòu)及工作原理 常用參數(shù) ： α 0 = 42176。 2．能量分析器 (1) 能量分析器種類(lèi)： a. 四柵球型能量分析器 (拒斥場(chǎng)型 ) △ 樣品、 G1接地－－ 形成無(wú)場(chǎng)空間 電子按原有方向前進(jìn) △ G G3接負(fù)電位 Vr－－ 對(duì)電子形成拒斥場(chǎng) △ G4接地－ 減小電場(chǎng)滲透和電位畸變， 提高分辨率 △ 收集極接正高壓－－ 收集電子 收集電子能量 E0 e|Vr| 收集電流 Ic = N(E)dE 高通分析器 :只有能量高于阻擋勢(shì)的粒子才可能被接收 為得到 N(E)：取一次微分 dN(E)/dE: 取兩次微分 缺點(diǎn)：分辨率不高，檢測(cè)靈敏度低 ??0E (偏轉(zhuǎn)色散型 ) 利用不同能量的粒子在靜電場(chǎng)中偏轉(zhuǎn)軌道半徑同 (色散現(xiàn)象 ) △ 要求： 不同能量的電子通過(guò)分析器后最大限度地被分離， 以便選出某種能量的電子 (色散特性－獲得高分辨率 ) 具有相同能量、不同發(fā)射角的電子要盡可能會(huì)聚于一點(diǎn)(聚焦特性－獲得高靈敏度 )。 高亮度 不用磁聚焦系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 通常工作條件： 入射電子能量： 15 keV 一次束流 Ip ： 108 A 入射角范圍： 20176。 in前提： 在相同的測(cè)試環(huán)境與條件下： ☆ Ep ：一次電子束能量 Ip ：一次電子束束流 ☆ Ep ：倍增器高壓 Em ：調(diào)制能量峰峰值 L ：鎖相放大器放大倍數(shù) 其中 Ep和 Ep與 II,wxy不成正比 Ip、 Em 和 L與 II,wxy成正比 (IpEmL)稱(chēng)為刻度系數(shù)，測(cè)試時(shí)若不同可最后換算。 負(fù)峰所對(duì)應(yīng)的能量為閾值能；利用峰 峰高度確定信息強(qiáng)度 。 問(wèn)題：提高信背比、信噪比 提高信背比（信號(hào) /本底〕 直接譜 N(E)－ E N(E)是單位時(shí)間單位能量間隔內(nèi)的電子數(shù)。 物理意義 ：積分號(hào)內(nèi) (Ip ni QW PWXY T dz)是距表面 z處， dz深度范圍內(nèi)，處于能量分析器接收角度范圍內(nèi)的俄歇 電子，再乘以 ez/λ cosθ 就是能量無(wú)損地輸運(yùn)到表面的部 分， z/co
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