【正文】 ③將前兩種情況合理均勻分配的可行方案。在考慮到了各種情況后，才能最后確定一個適應于您的解決方案： ① 最小的投資費用。（8）真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。（7）當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對環(huán)境的影響如何。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。（5）當您選擇油封泵時，您應該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。經(jīng)組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。 ② 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空。（3）真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。 其他不得不看的真空泵選型策略真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。一般以300～400℃溫度烘烤12～24小時。烘烤去氣是獲得超高真空的必要條件。鈦升華泵(TSP)可以有效抽除活性氣體HNCO等，適用于超高真空(UHV)系統(tǒng)。液氮冷卻的抽氣速率一般比水冷卻的大1～4倍。在超高真空時常采用斷續(xù)升華，如108帕時每隔幾小時才升華1分鐘。為獲得大的抽氣速率，壓力越高升華率應越大，但在低壓力下太大的升華率是不必要的。 影響因素鈦升華泵(Ti升華泵)的抽氣速率與被抽氣體的種類及其壓力、鈦的升華率、鈦膜面積和鈦膜溫度等因素有關。但泵口流導限制了泵的抽速。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。為了維持恒定的抽速，減少鈦的消耗，需要對升華速率進行調(diào)節(jié)。若吸氣面足夠大，在一定壓強范圍內(nèi)，升華速率高，則泵的抽速大。（2）抽速：鈦升華泵的抽速較大，新鮮鈦膜在液氮溫度下，˙s，˙s。利用放在鈦球內(nèi)的螺旋鎢絲，由電阻加熱作熱源，利用輻射加熱鈦球，使鈦不斷地升華。鈦帶纏繞在鉬箔上，它們之間用氧化鉿甘油漿涂敷。③熱傳導加熱式：它是由導熱性能良好的氧化鈹陶瓷為芯，內(nèi)串以錸鎢絲制成的加熱器。①纏繞鈦絲式升華器：將鈦絲直接纏繞在鎢桿或鉭桿上，鎢桿或鉭桿通電加熱到足夠高的溫度，鈦就不斷升華出來。（2）電阻加熱式升華器：直接通電加熱鈦絲。吸氣面主要是泵體或各種殼體，控制器屬于電控，升華器的種類較多，這里介紹幾種升華器的結構。第三種是與其它泵組合，作成組合泵。鈦升華泵可有三種類型，一種是單體泵，用法蘭與被抽容器聯(lián)接。11. 鈦升華泵 簡介鈦升華泵是靠新鮮鈦膜的化學吸附作用抽氣的真空泵。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。 分子泵特點油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。 工作條件（1）轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。高真空擴散泵主要由泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等組成。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵，目前，擴散泵是最廣泛、最主要的獲得高真空的工具之一 。（3）擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)()，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。 影響油擴散泵性能的因素（1）油擴散泵的返流。不同點主要在于擴散泵工作在高真空區(qū)域,其工作壓強范圍為102～106pa。如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫擋板，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。（4）設置冷阱及低溫擋板的原因由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設置冷卻水套或冷卻管道的緣故。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。（1）極限真空如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了普遍的運用。轉子外表為外形較為龐雜的曲線柱面，加工和檢討對比艱難。同時羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及、食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。 （5）收縮對比低，對氫氣抽氣后果差。 （4）泵腔內(nèi)無收縮，無排氣閥。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不必光滑，摩擦喪失小，可大大下降驅(qū)動功率，從而可完成較高轉速。 （1）在較寬的壓力規(guī)模內(nèi)有較大的抽速。因而，它常被串聯(lián)在分散泵與油封式機械真空泵之間，用來進步兩頭壓力規(guī)模的抽氣量。 羅茨泵的特征啟動快，耗功少，運轉保護費用低，抽速大、效力高，對被抽氣體中所含的大批水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力規(guī)模內(nèi)有較大抽氣速率，能敏捷消除忽然放出的氣體。為保證轉子在運轉過程中的間隙均勻，要求軸應有足夠的剛度，軸和轉子之間的聯(lián)接要緊固(目前已有轉子與軸焊或鑄成一體的結構)。另一種是電動機和傳動齒輪分別裝在轉子兩側。這種傳動方式的最大缺點是：，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。 泵的傳動方式羅茨真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。（3）泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種泵結構重心低，高速運轉時穩(wěn)定性好。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。但泵的重心較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。8．羅茨真空泵 羅茨真空泵的結構形式羅茨真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。使得在抽氣過程中，泵腔的溫度始終控制在高于水的飽和蒸汽壓溫度，促使被抽氣體中的大量水蒸汽能順利排出。抽除大量可凝性水蒸汽。（2）變滑閥泵為熱泵。原理是將冷凝器串接在泵與被抽容器之間，把真空工藝設備中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，從而減少水蒸汽進入真空泵中的數(shù)量、降低泵油污染程度。盡管在泵上設置了氣鎮(zhèn)閥，認可降低泵的極限真空，用氣鎮(zhèn)方法抽除可凝性氣體，但對于真空干燥、脫水、煉泥等水蒸汽含量高的抽氣過程來說，用氣鎮(zhèn)方法并不理想，一般有以下方法可試用：（1）滑閥泵與冷凝器配套使用?；y真空泵的應用要點：滑閥泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環(huán)境下連續(xù)工作，經(jīng)久耐用等突出優(yōu)點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應用隨著真空應用范圍越來越廣泛，在真空干燥、真空浸漬、真空脫水、真空冶煉等行業(yè)用滑閥泵抽除氣體都含有大量水蒸汽。航空模擬試驗較理想的真空設備。 滑閥真空機組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。（3）根據(jù)用戶要求，可附帶副油箱，達到冷卻真空油分離雜質(zhì)的作用?；y真空泵有以下特點：（1）經(jīng)過優(yōu)化設計配重，振動少，噪聲低。本型泵可單獨使用，也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等高真空泵的前級泵，相對于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，使用壽命長?；y泵有單級H型、雙級2H型：滑閥式真空泵適用于抽吸空氣及其他一般性氣體，當使用氣鎮(zhèn)時，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性氣體(如水蒸汽)。由于結構上的特點，使得這種泵具有能夠長期在較高壓強和較差的抽氣條件下工作、使用壽命長等優(yōu)點，在各個領域(例如真空冶煉、真空干燥、真空鍍膜、真空浸潰等其他真空作業(yè)領域)都得到了廣泛的應用。Pa的范圍內(nèi)。與一般旋片式真空泵一樣，滑閥式真空泵也有單級與雙極之分，當然根據(jù)它的結構特征還有立式和臥式兩種不同的結構形式。因此滑閥式真空泵也是一種容積式泵浦。7．滑閥式真空泵 滑閥式真空泵的結構特點滑閥式真空泵是工業(yè)領域常用的一種油封式真空泵。工作要求： 進口壓強在小于1330pa的條件下，允許長時期連續(xù)工作。 旋片式真空泵的使用特點抽氣速率： 4~100L/S (升/秒)極限壓強： ≤6*102Pa (帕)極限真空： ≤ (帕)氣體類型： 常溫無其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。（7）不漏油、不噴油、不污染工作環(huán)境,排氣裝置有專配油霧收集器。（5）設有自動防返油雙重保險裝置。（3）極限真空度高。 性能特點旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵，當采用工作液來進行潤滑并填充泵