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真空泵機(jī)械泵(參考版)

2025-08-04 17:44本頁(yè)面
  

【正文】 因此腔體材料的選擇十分重要,特別是高真空系統(tǒng) 各類真空泵的抽速 ? 真空泵的分類 ? 抽氣式 1. 旋片式真空泵 2. 擴(kuò)散泵 3. 渦輪分子泵 4. 分子拖拽泵 ? 吸氣式 1. 冷凝泵 2. 離子泵 3. 升華泵 常用真空泵的原理 : 機(jī)械泵 : 油旋片泵 , 羅茨泵 干式葉片泵 , 輥對(duì)泵 , 隔膜泵 擴(kuò)散泵 渦輪分子泵 離子和升華泵 冷凝泵 抽速 工作氣壓 壓縮比 氣體選擇性 旋片式機(jī)械泵 Mechanical Pump 第一級(jí) : down to 101 torr 第二級(jí) : down to 103 torr inlet 密封 , 潤(rùn)滑 返流 ? 分子篩過(guò)濾 油式 干式 (無(wú)油 ) 密封不好 壽命短 污染 Inlet pressure: 103 torr ~ torr ~ atm heavy load at high pressure Outlet pressure: 1 atm ~ atm limited by oil vapor amp。真空泵性能指標(biāo)決定真空度高低。
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