【正文】 如果壓強(qiáng)超出上。 Baratron gauge [mbar] Baratron真空計(jì) [mbar] Displays the process chamber pressure in the range from 10mbar down to 1 *104 mbar. This gauge has a higher accuracy and is gas independent. If the pressure gets out of range, the Baratron pressure displays nothing. 顯示工藝腔室壓強(qiáng)在 10mbar到 1*104 mbar范圍內(nèi)的壓強(qiáng)。 PKR真空計(jì)的顯示取決于工藝氣體類型，可能受到等離子體的影響（ HV → 高真空， ATM → 常壓）。（ HV → 高真空， ATM → 常壓）。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。在溫度顯示旁邊的條形圖表顯示加熱控制值的百分率。C] 溫度 [176。鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊顯示面板 并 選擇 上述 三個(gè)選項(xiàng)之一。 The bar graph displays the state of the heating time in percent. 條形圖顯示加熱時(shí)間百分比狀態(tài)。 Process chamber recipe 工藝腔室配方 Name: 名稱： Displays the actual running recipe. 顯示實(shí)際運(yùn)行的配方。 25 be transported step by step, too. 用于 手動(dòng)打開或關(guān)閉腔室之間的 閘門。 Manual transport 手動(dòng)傳輸 For manual opening and closing of the gates between the chambers. The carriers can 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Dynamic menu 動(dòng)態(tài)菜單 Parameters 參數(shù) Display for changing the general machine parameters. 顯示 更改總體 機(jī)械參數(shù)。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 圖 8：系統(tǒng) 可視化 The system overview offers an operating hours counter of system as well as each pump. 系統(tǒng)全 觀 圖提供了系統(tǒng)和每個(gè)泵的運(yùn)行小時(shí)計(jì)數(shù)器。 23 5 Standard functions 標(biāo)準(zhǔn)功能 System系統(tǒng) The systemoverview is shown when starting the software. This overview can also be reached by pressing the system button in the static menu. 當(dāng)啟動(dòng)軟件時(shí)，顯示系統(tǒng)的全觀圖。 22 和關(guān)閉之間過渡 Red → error (. pump can not be switched on) 紅色 → 出錯(cuò) （如泵不能打開） Air and water: 壓縮空氣和冷卻水： White → inactive (. cooling water is switch ed off) 白色 → 不起作用（如冷卻水關(guān)閉） Light blue → active (. pressed air is ok) 淺藍(lán)色 → 起作用（如壓縮空氣正常） Yellow → interval between switch on and off 黃色 → 打開和關(guān)閉之間的間隔 Red → error (. N2 pressure is not available) 紅色 → 出錯(cuò)（如 N2壓力無效的） Button: 按鈕： Dark gray → function is enabled 深灰色 → 功能是激活的 Light gray → function is disabled 淺灰色 → 功能是無效的 LED’s: LED的顏色： Dark green → inactive (. function is inactive) 深綠色 → 不起作用的（功能不起作用） Light green → active (function is active) 淺綠色 → 起作用的（功能起作用） Dark red → no error 深紅色 → 沒有出錯(cuò) Light red → error at the relevant unit 淺紅色 → 相關(guān)單元出錯(cuò) Yellow → interval between the switch 黃色 → 開關(guān)切換之間的間隔 Frames for numbers: 數(shù)值框架 White → input set values 白色 → 輸入設(shè)置值 Light green → display actual values 淺綠色 → 顯示實(shí)際數(shù)值 Dark green → display set values 深綠色 → 顯 示設(shè)置值 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Valves and pumps: 閥門和泵： Gray → closed / off / inactive (. valve closed) 灰色 → 關(guān)閉 /斷開 /不起作用 （如閥門關(guān)閉） Green → open / on / active (. valve open) 綠色 → 打開 /啟用 /起作用 （如閥門打開） Yellow → transition between open and closed, switched on and off 黃色 → 在打開 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 21 圖 7: 圖像區(qū)域 Display elements 顯示元素 The status of the systems is displayed using various colors. Either the displayed value has a colored background or the system itself (. symbol for pumps, valves) is shown in various colors: 系統(tǒng)的狀態(tài)通過不同顏色來顯示。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。以及所有的輸入屏幕：設(shè)備布局輸入屏幕和腔室工藝單獨(dú)配方的輸入屏幕。 Stop 停止 The STOP function represents an emergencySTOP function for all technological processes and pumps. STOP功能代表所有工藝過程和泵的急停功能。 20 (recipe, control, ...). 顯示該腔室的詳細(xì)圖表， 啟用 具體的工藝功能（配方，控制等等） 圖 6：靜態(tài)菜單 Gas system 工藝氣體系統(tǒng) Shows a detailed graphic of the gas supply and enables purging of the gas chambers.顯示工藝氣體供應(yīng)的詳細(xì)圖表，啟用氣體腔室的清洗功能。 Process chamber 工藝腔室 Shows detailed graphics of the chambers and enables processspecific functions 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。該菜單 允許在任何時(shí)候訪問 以下 功能，這取決于當(dāng)前模式和用戶的權(quán)限。 圖 5: 動(dòng)態(tài)菜單 Static menu 靜態(tài)菜單 The static menu is shown in the bottom right corner of the screen and displays the same options all times. The image area can be switched from system view to service view. This menu allows access to the following functions at any time depending on the current mode and user authorization. 靜態(tài)菜單在屏幕的右下角，任何時(shí)候顯示相同的選項(xiàng)。動(dòng)態(tài)菜單的結(jié)構(gòu)依賴于所選擇的顯示或功能。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。要顯示所有信息，按 F7鍵或用鼠標(biāo)左鍵雙擊信息欄。 顯示的信息并不都是必須的。 18 Message line 信 息欄 圖 4：信息欄 The message line extends across the plete screen width below the image area. The “Q” at the end of the line gives a tool tip, that there is at least one message to be acknowledged. This is not necessarily the shown message. A message can be acknowledged using the function keys F8 (individual acknowledgement) or F9 (group acknowledgement). To display all messages press F7 or doubleclick on the message line with the left mouse button. To close the message list either 信息欄在圖像區(qū)域的下面，延伸到整個(gè)屏幕 寬度。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 green → service switch is active). If an warning/ error is occurred, the message line contains the manner of the warning/error. ‘旋轉(zhuǎn)閃光燈’的顏色標(biāo)志系統(tǒng)的狀態(tài) (紅色 → 錯(cuò)誤信息；黃色 → 警告；綠色 → 維護(hù)開關(guān)正起作用 )。 The color of the ?rotating flashing light? is pointing to the state of the system (red → error me ssage。 圖 3: 標(biāo)題 The system is operated in the service mode, if this symbol is shown in the headline. 標(biāo)題欄顯示該圖標(biāo)時(shí)，表示系統(tǒng)運(yùn)行在 維護(hù)模式 。 red → error). 標(biāo)題總是可視的并顯示日期，時(shí)間和當(dāng)前的系統(tǒng)用戶。 17 Header 標(biāo)題 The header is always visible and displays the date, the time and the actual user of the system. In the left corner there are shown the states of pressures and cooling water (blue → ok。 圖像 區(qū)域 標(biāo)題 動(dòng)態(tài)菜單 Figure 2: 屏幕結(jié)構(gòu) 信息欄 靜態(tài)菜單 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。用戶界面采用輸入單元（數(shù)字、文本、表格的輸入框架）， 與 WINDOWS174。 standard interface. 通過鍵盤和鼠標(biāo)（觸摸板）操作該系統(tǒng) ，類似于 WINDOWS174。 16 4 Function description and operating 功能描述和操作 Operating the system by keyboard and mouse (touch pad) can be performed in the same manner as WINDOWS174。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交