【正文】 r is always visible and displays the date, the time and the actual user of the system. In the left corner there are shown the states of pressures and cooling water (blue → ok。 16 4 Function description and operating 功能描述和操作 Operating the system by keyboard and mouse (touch pad) can be performed in the same manner as WINDOWS174。 15 圖 1: 提示程序關(guān)閉 Attention: By Shut down you switch off the running processes and the pumps! 注意： 關(guān)閉程序意味著關(guān)閉了正在運(yùn)行的工藝和泵。的登錄－操作計(jì)算機(jī)啟動(dòng)后，出現(xiàn) window界面。 － the object is no longer highlighted. 該對(duì)象不 再 高亮度顯示。 或者 Hold the left mouse key and move the mouse across the text. 按住鼠標(biāo)左鍵同時(shí)在文本上移動(dòng)鼠標(biāo)。 檢驗(yàn)欄 類似 ON/OFF開關(guān)。 點(diǎn)擊 鼠標(biāo) 確認(rèn)選擇對(duì)象， list關(guān)閉 。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 手冊(cè)。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 CP 5613 (Profibus DP)集成在 PC機(jī)上， 根據(jù)工藝通道的記錄， 擴(kuò)充 I/O零件。 ? Full graphical trend functions for present values as a processrelated trend. 針對(duì) 工藝相關(guān)趨勢(shì)的 當(dāng)前 數(shù)值，系統(tǒng)具有 全部 的 圖像趨向功能 。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Rau AG Gewerbering 3 D09337 HohensteinErnstthal, OT Wuestenbrand Germany 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。以下是它的功能列表： ? Full graphical representation of the system layout and the current process sequence as well as display of all aggregate conditions and process status conditions. 全部 圖像表示系統(tǒng)布局、當(dāng)前工藝次序、并 顯示所有總體狀況和工藝狀態(tài)。 The control software has access to three local peripheral units of the type ET 200M by a SINEC L2 controller, CP 5613 (Profibus DP), integrated in the PC. They are extended by I/O ponents according to the process channels to be recorded. Several devices (like Eurotherm heaters, valve blocks, mass flow controllers and servo motors) are direct connected to the Profibus. This allows a fast direct access to a mass of parameters of each device. The PC, as master, is connected to a Twisted Pair line. 控制軟件 通過一個(gè) SINEC控制器和 三個(gè)局部外圍單元 （ ET200M類型）連接 。 6 MFC 13 (MKS 1179 As) 2123 Lenze馬達(dá) 1 (裝載腔室 r) 41 Lenze馬達(dá) 2 (加熱腔室 ) 42 Lenze馬達(dá) 3 (工藝腔室 ) 43 Lenze馬達(dá) 4 (工藝腔室 r) 44 Lenze馬達(dá) 5 (冷卻腔室 ) 45 Lenze馬達(dá) 6 (冷 卻腔室 ) 46 Lenze馬達(dá) 7 (卸載腔室 ) 47 Lenze馬達(dá) 11 (卸載臺(tái) ) 51 Lenze馬達(dá) 24 (裝載臺(tái) ) 64 預(yù)處理源 (RF發(fā)生器 ) 66 Distribution of CANBus Node ID’s CANBus Node ID’s 的分布 模塊 / 節(jié)點(diǎn) 信息 ID 信息返回 ID 微波 1 11 91 微波 2 12 92 微波 3 13 93 微波 4 14 94 微波 5 15 95 微波 6 16 96 微波 7 17 97 微波 8 18 98 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 更多的信息參見 WINDOWS174。 Buttons 按鈕 Buttons are operation elements, which function like a push button. The push buttons can be actuated in two ways: 按鈕是操作基本元件，它 的功能就象真實(shí)的 按鈕， 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。鼠標(biāo)向上或向下移動(dòng) 來選擇 。 12 Checkboxes 檢驗(yàn)欄 A checkbox is like an ON/OFF switch. A selected checkbox is enabled , a deselected checkbox is disabled 。 Mark text: 文本標(biāo)記： Hold [Shift] and move the cursor across the text. The text across which the cursor has been moved is highlighted. 按住 [Shift]鍵同時(shí)在文本上移動(dòng)鼠標(biāo)，被移動(dòng)過的文本高亮度顯示。 － the cursor has been clicked into another object (another frame or symbol). 指針點(diǎn)擊在另外的對(duì)象（另一個(gè)框架或符號(hào)）。 login window appears after the operating puter has started up. Enter the username “Operator” (without password) and press [Enter]. Now the control software can be start (by doubleclicking the symbol System on the desktop). Windows 2020174。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 yellow → warning?？梢酝ㄟ^功能鍵 F8（單獨(dú)確認(rèn)）或 F9（群確認(rèn)）來確認(rèn)顯示任一信息。圖像區(qū)域可以從系統(tǒng) 視圖 切換到維護(hù) 視圖 。 Image area 圖像區(qū)域 The image area is used to display the various overview images of the system as well as the service images, message list, trend display, administration, a nd all the input screens for machine configuration and individual recipes for the chamber technologies. The following sections contain more detailed information about individual images and input screens. 圖像區(qū)域用來顯示系統(tǒng)不同 的全局圖表和維護(hù)圖表，信息列表，趨向顯示，管理。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 24 Operation time of 運(yùn)行時(shí)間： a pump: click on pump symbol with right mouse button －泵：鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊泵的符號(hào) system: click on background with right mouse button－系 統(tǒng)：鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊畫面背景 The counter can be deleted by the pressing Reset in the operation time window (. change a pump). 計(jì)數(shù)器可以通過點(diǎn)擊操作時(shí)間窗口（如更換泵）的 “ Reset” 鍵來清除。 Status: 狀態(tài)： Messages about the status of the running recipe. 與 運(yùn)行配方狀態(tài)相關(guān)的信息 。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。該真空計(jì)有更高的精度并與工藝氣體無關(guān)。 PKR vacuum gauge of process chamber [mbar] 工藝腔室的 PKR真空計(jì) [mbar] The PKR gauge displays the pressure in the process chamber. The display of the PKR gauge depends on the gas type and is possibly influenced by the plasma. (HV → high vacuum, ATM → atmosphere). When gas let into the chamber through the channels 1 – 3, the PKR of the process chamber is switched off. PKR真空計(jì)顯示工藝腔室的壓強(qiáng)。 For example: display panel for the pumps of the process chamber 例如：工藝腔室泵的顯示面板 Temperature [176。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。全 觀 圖也可以通過按下靜態(tài)菜單里面的 system鍵獲得。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 19 well as further submenus in the screen area. 該屏幕區(qū)域顯示動(dòng)態(tài)菜單和與示意圖相關(guān)的子菜單。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。在左邊區(qū)域顯示壓力和冷卻水的狀態(tài)（藍(lán)色 → ok ；黃色 → 缺少、遺漏；紅色 → 錯(cuò)誤）。操作方式。 標(biāo)準(zhǔn)正常關(guān)閉。 As soon as the loading procedure has been pleted, the diagram of the system appears and the message System was started is shown in the message line at the lower edge of the screen. In the foreground the loginwindow appears to enter the username and the password. 一旦 完成加載程序，系統(tǒng)的圖表 顯示 出來并且 屏幕下邊的信息欄顯示“ System was started”。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 13 里面的所有內(nèi)容，在框架上面移動(dòng)鼠標(biāo)，雙擊左鍵。 或者 Press [TAB] repeatedly until the checkbox is highlighted. After this press [Space] to enable / disable the checkbox. 重復(fù)按下 [TAB]鍵直到檢驗(yàn)欄高亮度