【正文】 up acknowledgement). To display all messages press F7 or doubleclick on the message line with the left mouse button. To close the message list either 信息欄在圖像區(qū)域的下面，延伸到整個(gè)屏幕 寬度。動(dòng)態(tài)菜單的結(jié)構(gòu)依賴(lài)于所選擇的顯示或功能。 20 (recipe, control, ...). 顯示該腔室的詳細(xì)圖表， 啟用 具體的工藝功能（配方，控制等等） 圖 6：靜態(tài)菜單 Gas system 工藝氣體系統(tǒng) Shows a detailed graphic of the gas supply and enables purging of the gas chambers.顯示工藝氣體供應(yīng)的詳細(xì)圖表，啟用氣體腔室的清洗功能。 21 圖 7: 圖像區(qū)域 Display elements 顯示元素 The status of the systems is displayed using various colors. Either the displayed value has a colored background or the system itself (. symbol for pumps, valves) is shown in various colors: 系統(tǒng)的狀態(tài)通過(guò)不同顏色來(lái)顯示。 圖 8：系統(tǒng) 可視化 The system overview offers an operating hours counter of system as well as each pump. 系統(tǒng)全 觀 圖提供了系統(tǒng)和每個(gè)泵的運(yùn)行小時(shí)計(jì)數(shù)器。 25 be transported step by step, too. 用于 手動(dòng)打開(kāi)或關(guān)閉腔室之間的 閘門(mén)。C] 溫度 [176。 PKR真空計(jì)的顯示取決于工藝氣體類(lèi)型，可能受到等離子體的影響（ HV → 高真空， ATM → 常壓）。 Baratron gauge [mbar] Baratron真空計(jì) [mbar] Displays the process chamber pressure in the range from 10mbar down to 1 *104 mbar. This gauge has a higher accuracy and is gas independent. If the pressure gets out of range, the Baratron pressure displays nothing. 顯示工藝腔室壓強(qiáng)在 10mbar到 1*104 mbar范圍內(nèi)的壓強(qiáng)。在溫度顯示旁邊的條形圖表顯示加熱控制值的百分率。 Process chamber recipe 工藝腔室配方 Name: 名稱(chēng)： Displays the actual running recipe. 顯示實(shí)際運(yùn)行的配方。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Valves and pumps: 閥門(mén)和泵： Gray → closed / off / inactive (. valve closed) 灰色 → 關(guān)閉 /斷開(kāi) /不起作用 （如閥門(mén)關(guān)閉） Green → open / on / active (. valve open) 綠色 → 打開(kāi) /啟用 /起作用 （如閥門(mén)打開(kāi)） Yellow → transition between open and closed, switched on and off 黃色 → 在打開(kāi) 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 Stop 停止 The STOP function represents an emergencySTOP function for all technological processes and pumps. STOP功能代表所有工藝過(guò)程和泵的急停功能。 圖 5: 動(dòng)態(tài)菜單 Static menu 靜態(tài)菜單 The static menu is shown in the bottom right corner of the screen and displays the same options all times. The image area can be switched from system view to service view. This menu allows access to the following functions at any time depending on the current mode and user authorization. 靜態(tài)菜單在屏幕的右下角，任何時(shí)候顯示相同的選項(xiàng)。 顯示的信息并不都是必須的。 The color of the ?rotating flashing light? is pointing to the state of the system (red → error me ssage。 圖像 區(qū)域 標(biāo)題 動(dòng)態(tài)菜單 Figure 2: 屏幕結(jié)構(gòu) 信息欄 靜態(tài)菜單 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。按下該按鈕后，出現(xiàn)下面窗口： . 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 The Windows 2020174。 Note 注釋 : Entries in the frames bee valid if: 有效登 錄進(jìn)入 框架的條件： : － the entry has been pleted with 登錄完成并 帶有 記號(hào) 。它們有許多不同的功能。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 List里面當(dāng)前的位置是高亮度顯示。之后按下 [左 箭頭 ]或者 [右箭頭 ]來(lái)啟用單選 按鈕。標(biāo)準(zhǔn)，用戶(hù)界面采用輸入元件 (數(shù)字和文本輸入框架，表格， …) 。 9 For SINECL2 connection ply with the Technical Description and the Installation Guidelines in the Manual “CP5613”. SINECL2的連接 遵守技術(shù)描述和和安裝向?qū)?，在手?cè) “CP5613”。 經(jīng)典資料， WORD 文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。 5 ， 256MB RAM， 80GB希捷硬盤(pán)， ， LG DVD CDROM，圖形卡，網(wǎng) 卡， Windows 2020 English + Service Pack 4）， 15寸 TFT液晶顯示器， 19寸鍵盤(pán)，觸摸墊板。有 5個(gè)工藝腔室，連續(xù)流動(dòng)控制 的工作方式。 1 操作手冊(cè) SINAL – 系統(tǒng) 氮化硅沉積系統(tǒng) （人工裝載） 制造商 : Roth amp。 2 目錄 1 引言 ....................................................................................................... ... .4 應(yīng)用和使用 ……... ...........................................................................................4 硬件和軟件的識(shí)別 ……………… ..................................................................4 硬件 …... ...............................................................................................................4 軟件 ….. ................................................................................................................7 主要元件的安裝介紹 …………………………. .............................................7 2 一般的操作說(shuō)明 …………... ......................................................................8 射頻按鈕 ..........................................................................................................8 按鈕 ..................................................................................................................8 清單 .................................................................................................................8 檢驗(yàn)盒 ..............................................................................................................9 輸入和輸出框架 ………. ....................................................................................9 Tool tip..............................................................................................................9 3 開(kāi) /關(guān)控制系統(tǒng) ..........................................................................................10 打開(kāi) ................................................................................................................10 關(guān)閉 ................................................................................................................10 4 功能描述和操作 ……………………... .............................................................11 標(biāo)題 ................................................................................................................12 信息線(xiàn) ............................................................................................................12 動(dòng)態(tài)菜單 ........................................................................................................13 靜態(tài)菜單 ........................................................................................................13 圖象區(qū)域 ........................................................................................................14 5 標(biāo)準(zhǔn)功能 ……… ............................................................................