zygo干涉儀使用說明(參考版)
2025-04-10 07:25本頁面
【正文】 學習參考。什么時候離光明最近？那就是你覺得黑暗太黑的時候。我不知道年少輕狂，我只知道勝者為王。歡迎您的光臨，！希望您提出您寶貴的意見，你的意見是我進步的動力。點擊clear 按鈕則所有掩膜都被清除。 掩膜去除：去除自動掩膜在analysis control 窗口中將 auto aperture 欄中的ON 改成OFF 即可。完成后點擊BG INC 按鈕來確認。完成后點擊BG INC 按鈕來確認。 手動掩膜：手動掩膜適用于非圓形零件或者有特殊需求的情況。 取掩膜 自動掩膜：測量圓形（球形）零件的時候，可以使用自動掩膜功能，按一定的百分比選取有效測量區(qū)域。一般平面可以以零件邊緣或者標準鏡邊緣為基準，球面可以以干涉圖形的邊緣作為基準。 作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼8/8 如果測量的是球面還需要在ISO10110 窗口中輸入曲率半徑標稱值、實測值、測試波長、零件有效口徑。切換到view 模式，再次微調(diào)柱面的旋轉(zhuǎn)和角度將條紋調(diào)正，微調(diào)前后將條紋在弧面方向調(diào)直。將待測柱面母線按與CGH 平行的方向放置到調(diào)整架上，移動調(diào)整架至CGH 焦點處，微調(diào)待測柱面的左右偏轉(zhuǎn)，在電腦屏幕中看到有一個現(xiàn)狀亮斑，微微旋轉(zhuǎn)柱面的母線方向，使得母線方向與CGH 的母線方向完全一致，此時屏幕中看到一條細亮的豎線。使用時，切換到align 模式，將CGH 的平面對準干涉儀，調(diào)整左右旋轉(zhuǎn)，把第3 個光點調(diào)到十字線中心。注意：整個回歸貓眼的過程中不可觸碰任何調(diào)整旋鈕。在整個尋找過程中，光點可能會移動，通過調(diào)整來保持光點始終在屏幕中心。調(diào)整六位調(diào)整架，使零件上下移動把條紋調(diào)到充滿整個視場，微調(diào)標準鏡的位置，使得條紋對稱。切換到view 界面，沿導軌前后移動調(diào)整架至干涉儀的出射光聚焦到零件表面（可用一張小紙條貼于零件表面觀察）。再次按下align/view 按鈕切換到view 模式，微調(diào)零件或者標準鏡的俯仰和水平旋轉(zhuǎn)，將條紋調(diào)到3 根左右。 尋找干涉條紋 平面：將待測面正對干涉儀主機放置到升降臺上，如果是楔角較小的平片或者直角棱鏡之類的可能需要把背面事先涂上凡士林來消除雜光影響。 安裝：將標準鏡的兩個插銷對準標準鏡安裝支架上的卡口插入，旋轉(zhuǎn)，安裝到位，旋轉(zhuǎn)鎖死螺釘固定好。 選擇、安裝標準鏡 選擇：平面和柱面選擇平面標準鏡TF，球面選擇球面標準鏡。 ：開機，選擇、安裝標準鏡，找到待測零件表面干涉條紋，輸入零件號等相關信息，設定長度基準，取掩膜，測量，結果保存和打印。 標準鏡使用時要插入到位，螺絲擰緊。測試完畢后關閉波面測試操作界面，點擊左上角X符號，退回到ZYGO
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