zygo干涉儀使用說明-展示頁
2025-04-16 07:25本頁面
【正文】 同，同樣大小的干涉圖所代表的零件大小可能有很大的差異。一般在align界面對準(zhǔn)后在view界面觀察條紋。align模式可以看到一個黑色固定的十字線和反射回干涉儀的光點，一般用于零件對準(zhǔn)，特點是視場較大。 升降臺可以升降的平臺，帶有小傾角調(diào)節(jié)功能，一般用于放置平面元件。 鏡片像從標(biāo)準(zhǔn)鏡出射的光在整個零件表面被原路反射回來與標(biāo)準(zhǔn)面的反射光發(fā)生干涉產(chǎn)生的干涉圖形。 貓眼像（cateye）又稱為標(biāo)準(zhǔn)鏡的像。不同的應(yīng)用用于不同項目的測量。（保存文件名為*.Dat），測試完成后點擊SAVE DATE保存。2范圍 本文件涉及用ZYGO 干涉儀檢測平面元件的一般方法。. . . .作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼1/81目的 為了使員工正確熟悉的使用ZYGO干涉儀。本文詳細(xì)說明了如何使用ZYGO 干涉儀來測試晶體的平行度、波前、平面度等指標(biāo)。 3 錄取數(shù)據(jù) 在檢驗過程中將會生成以下記錄： （保存文件名為*.Tif），在實時窗口上點擊FILESAVE保存。4 Zygo干涉儀的定義 應(yīng)用（application）應(yīng)用是ZYGO 干涉儀中一系列功能的組合，保存為后綴名為“*.app”的文件。 用于一般的平面和球面的測量， 用于柱面面形的測量。標(biāo)準(zhǔn)鏡的出射光在焦點處被返回時出現(xiàn)的干涉條紋，是透過干涉儀的光線與和它對稱的標(biāo)準(zhǔn)面之間的干涉圖形。包含待測零件的表面或波前信息，是面形檢測的主要信息來源。 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切換的2 個模式之一。View 模式是按下控制盒上的align/view 切換的2 個模式之一，可以看到干涉條紋，特點是放大率較高， 但是視場較小。 作 業(yè) 文 件文件編號ZYGO干涉儀使用說明版本/修訂頁碼2/8 標(biāo)準(zhǔn)鏡干涉儀上使用的參考表面，用于生成理想的平面、球面波，作為測量基準(zhǔn)。設(shè)定長度基準(zhǔn)的目的就是告訴干涉儀圖形中的一段長度相當(dāng)于鏡片中長度的多少，方便控制測量區(qū)域和設(shè)定掩膜。可以根據(jù)需要設(shè)定有效區(qū)域的形狀、大小、位置， 也可以從有效區(qū)域中挖去一部分不需要的。品管部經(jīng)理負(fù)責(zé)保證過程實施所需的培訓(xùn)及資源。 指定的儀器使用者需保證使用過程按按照操作規(guī)程操作儀器。6 操作主要內(nèi)容.依次開啟ZYGO顯示器電源，機箱控制面板上電源按鈕：MASTER、MONITOR、AUXAUX2，以及干涉儀主機箱右側(cè)下方POWER。如果沒有，關(guān)閉當(dāng)前的窗口，待其縮小為按鈕后，在應(yīng)用選擇
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