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單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)-資料下載頁

2025-01-01 07:09本頁面
  

【正文】 查磨損、對中和張緊 堝轉(zhuǎn)、堝升電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置 3個(gè)月 檢查所有螺釘?shù)木o固 堝轉(zhuǎn)、堝升電機(jī)噪聲、刷磨損 3個(gè)月 檢查碳刷長度 波紋管 3個(gè)月 檢查損壞情況 絲桿 3個(gè)月 清潔和潤滑 銅螺母 3個(gè)月 檢查磨損情況 滾珠直線導(dǎo)軌 6個(gè)月 清潔和潤滑 絲杠軸承 6個(gè)月 脂潤滑 坩堝軸 每年 檢查磨損和對中 翻板閥的調(diào)整 將副爐室升起,旋開。 確認(rèn) O型圈已經(jīng)裝好,把翻板閥關(guān)閉。 用 5mm的內(nèi)六角扳手和17mm的呆扳手把翻板閥兩端的固定螺釘松開。 打開真空泵,真空球閥,抽取主爐室真空。 利用主爐室內(nèi)外壓差,翻板閥會(huì)自動(dòng)吸緊。 當(dāng)壓力抽到極限真空時(shí),將翻板閥兩端的固定螺釘上緊。 充入氬氣,做一次隔離實(shí)驗(yàn)以確保翻板閥調(diào)整后密封良好。 松開外端的 2只外六角螺釘 松開內(nèi)端的 2只內(nèi)六角螺釘 水平調(diào)整機(jī)構(gòu) 副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 氬氣分流系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 冷卻水系統(tǒng) ?采用光學(xué)系統(tǒng)將晶體圖像分到 2個(gè)獨(dú)立 CCD完成引晶、等徑的單獨(dú)控制。 ?圖像處理速度快,引晶跟蹤能力強(qiáng),引晶效果好 ?機(jī)械調(diào)整簡單 雙 CCD測徑系統(tǒng) ? 采用了國內(nèi)首創(chuàng)、獨(dú)特的副爐室自動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),可在副爐室提升到位時(shí)的緩慢旋開和快速旋閉,提高取晶的安全性; ? 采用特殊的隔離閥板水冷內(nèi)循環(huán)結(jié)構(gòu),避免了采用浮動(dòng)式翻板閥中軟管及接頭漏水的隱患; ? 采用獨(dú)特的氬氣分流環(huán)結(jié)構(gòu),保證在拉晶過程中氬氣氣流的均勻性。 機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特色 謝 謝 ! 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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