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俄歇電子aes能譜xxxx-資料下載頁

2024-12-31 07:56本頁面
  

【正文】 面離子注入分布及化學(xué)狀態(tài)的研究 o通過俄歇電子能譜的深度剖析,不僅可以研究離子注入元素沿深度方向的分布,還可以研究注入元素的化學(xué)狀態(tài)。注入 Sb元素后, Sn元素MNN俄歇?jiǎng)幽馨l(fā)生變化,介于 Sn和 SnO2之間。說明 Sn外層獲得部分電子。 固體表面離子注入分布及化學(xué)狀態(tài)的研究 o 從圖上可見,離子注入層的厚度大約 35nm,而注入元素的濃度達(dá)到 12%。僅從 Sb離子的注入量和分布很難解釋離子注入薄膜的電阻率的大幅度降低。 離子注入 Sb的 SnO2氣敏薄膜的俄歇深度分析圖 薄膜制備的研究 o俄歇電子能譜也是薄膜制備質(zhì)量控制的重要分析手段。o由于制備條件的不同,制備出的薄膜質(zhì)量有很大差別。利用俄歇電子能譜的深度分析和線形分析可以判斷薄膜的質(zhì)量。 薄膜制備研究o 從圖上可見,所有方法制備的薄膜層中均有兩種化學(xué)狀態(tài)的 Si存在(單質(zhì)硅和 Si3N4)。其中, APCVD法制備的薄膜質(zhì)量最好,單質(zhì)硅的含量較低。而 PECVD法制備薄膜的質(zhì)量最差。 不同方法制備的 Si3N4薄膜的 Si LVV俄歇線形分析 薄膜制備研究o 從圖上可見,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制備的 Si3N4薄膜N/Si比較低,約為PECVD制備的 Si3N4薄膜的俄歇深度分析 失效分析 o俄歇電子能譜也是材料失效分析的有力工具。如金屬材料的斷裂一般多表現(xiàn)為有害元素在晶界的偏析。 材料的元素偏析研究 o 元素偏析經(jīng)常是材料失效的重要原因。利用俄歇電子能譜可以很好地研究材料中的元素偏析問題。o 從圖上可見,除表面有氧化層外,在基底合金材料中,主要是 Fe,Ni, Cr合金,成分分布還是很均勻的。 彩電陽極帽在氧化處理前的俄歇深度分析 材料的元素偏析研究o 在熱氧化處理后,合金材料不僅被氧化,并發(fā)生了元素的偏析作用。 本底合金中含量很低的 Cr 元素發(fā)生了表面偏析,在樣品表面獲得富集,形成了 Cr2O3致密氧化層。大大改善了彩電陽極帽與玻璃的真空封接性能。 彩電陽極帽在氧化處理后的俄歇深度分析 固體化學(xué)反應(yīng)研究 o俄歇電子能譜在薄膜的固體化學(xué)反應(yīng)研究上也有著重要的作用。固體化學(xué)反應(yīng)研究 o 從圖上可見,在金剛石表面形成了很好的金屬Cr層。 Cr層與金剛石的界面雖有一定程度的界面擴(kuò)散,但并沒有形成穩(wěn)定的金屬化合物相出現(xiàn)。在高真空中經(jīng)高溫?zé)崽幚砗?,其俄歇深度剖析圖發(fā)生了很大的變化。 Cr/金剛石原始薄膜的俄歇深度分析 固體化學(xué)反應(yīng)o 從圖可見,熱處理后,在 Cr/C界面上發(fā)生了固相化學(xué)反應(yīng),并形成了兩個(gè)界面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物層。表面層為 CrC物種,而中間層為 Cr3C4物種。Cr/金剛石薄膜經(jīng)真空熱處理后的俄歇深度分析 表面擴(kuò)散研究 經(jīng)電遷移處理后薄膜表面的線掃描分析 原始薄膜的俄歇線掃描分析o由于俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度和空間分辨率,非常適合于表面擴(kuò)散過程的研究。 摩擦化學(xué)研究 o俄歇電子能譜在摩擦學(xué)研究上也有重要的應(yīng)用??梢杂脕硌芯繚櫥砑觿┑淖饔脵C(jī)理以及在基底材料中的擴(kuò)散情況。 摩擦化學(xué)研究 o 該潤滑膜的俄歇定性分析圖。從圖上可見,在潤滑膜中存在大量的 S, C和 O元素。 o 從圖上可見,鋼試件在摩擦以后,潤滑膜的俄歇分析圖。 S,O 和 C元素均有不同程度的擴(kuò)散。由此,可見該類添加劑的 S能很好地與金屬基底材料作用形成具有抗磨作用的潤滑膜。 薄膜催化劑的研究 o 圖是負(fù)載在 γAl2O3薄膜載體上的 LaCoO3鈣鈦礦型薄膜模型催化劑經(jīng) 700℃ SO2(2%)強(qiáng)化中毒 1小時(shí)后的薄膜樣品的俄歇深度分析譜。從圖上可見, S元素已完全地?cái)U(kuò)散到整個(gè)LaCoO3活性層中。這將直接會(huì)破壞 LaCoO3鈣鈦礦相結(jié)構(gòu),導(dǎo)致催化劑的失活。這結(jié)果說明 SO2是很容易與 LaCoO3反應(yīng)的。同時(shí),從薄膜催化劑表面的俄歇定性分析圖上也可見,在催化劑表面不僅有硫的存在,同時(shí)還發(fā)現(xiàn)有 Co的信號(hào)。表明 LaCoO3鈣鈦礦已被破壞,催化劑產(chǎn)生中毒失活。 汽車尾氣凈化催化劑的薄膜模型催化劑的俄歇深度分析 薄膜催化劑的研究 在強(qiáng)化硫中毒后的俄歇分析 謝謝觀看 /歡迎下載BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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