【正文】
及 LIGA技術(shù) 。圖為他們于 99年初發(fā)表了 3 5陣列的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機(jī) 。 微推進(jìn)器 ? 組成 : 由 5到 6片芯片疊在一起,內(nèi)有混合燃燒室、噴口噴管、兩個(gè)泵和兩個(gè)閥以及冷卻管道的 多器件集成系統(tǒng)。用液態(tài)氧和乙醇作燃料 ? 性能:能產(chǎn)生 15N的推力,推力重量比達(dá) 1500:1, 是大火箭推進(jìn)器的 10~100倍,反映了微系統(tǒng)的潛力 微推進(jìn)器 新概念的微型雙組元火箭發(fā)動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)圖 ?采用微電子加工技術(shù),可以在 指甲蓋大小的硅片上制作出包含有多達(dá) 10萬(wàn)種 DNA基因片段的芯片。 利用這種芯片可以在極快的時(shí)間內(nèi)檢測(cè)或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化等情況,這無(wú)疑對(duì)遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重要的作用 ?Stanford和 Affymetrix公司的研究人員已經(jīng)利用微電子技術(shù)在硅片或玻璃片上制作出了 DNA芯片。包括 6000余種 DNA基因片段 A B C D 結(jié) 束 語(yǔ) MEMS技術(shù) 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片 電 、 光 、聲 、 熱 、磁力等外界信號(hào)的采集 —各種傳感器 執(zhí)行器、顯示器等 信息輸入與模 / 數(shù)傳輸 信息處理 信息輸出與數(shù) / 模轉(zhuǎn)換 信息存儲(chǔ) The systemonachip of the future? 微電子器件、納電子器件、自旋電子器件、 光電子器件、 MEMS器件 微電子 納電子 宏電子 MEMS 作業(yè) MEMS工藝與微電 子工藝技術(shù)有哪些區(qū)別。 列舉幾種你所知道的 MEMS器件,并簡(jiǎn)述其用途。 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH