中科院半導(dǎo)體研究所自主研發(fā)實(shí)驗(yàn)型mocvd用戶手冊-資料下載頁
2025-08-07 15:41本頁面
【正文】 。 修改“計(jì)時(shí)起點(diǎn)”：該屬性用于設(shè)定步驟計(jì)時(shí)的起始事件，計(jì)時(shí)的時(shí)間長度為前面定義的“持續(xù)時(shí)間”，當(dāng)計(jì)時(shí)超過“持續(xù)時(shí)間”時(shí)，自動進(jìn)入下一步執(zhí)行。若選擇溫度或者壓力，則當(dāng)溫度或者壓力到步驟設(shè)定的溫度或者壓力值時(shí)開始計(jì)時(shí)；若選擇模擬量部件，則當(dāng)選擇的模擬量的測量值到達(dá)設(shè)定的值時(shí)開始計(jì)時(shí)；若選擇開關(guān)量，則當(dāng)執(zhí)行完開關(guān)量操作后開始計(jì)時(shí)。該下拉框顯示的是當(dāng)前步驟的所有有效的操作。216。 修改“溫度”：設(shè)定當(dāng)前步驟的目標(biāo)溫度值。216。 修改壓力：程序發(fā)送命令設(shè)置目標(biāo)壓力。u 步驟（列）編輯216。 插入列178。 若當(dāng)前工藝文件沒有定義步驟也即沒有列時(shí)，點(diǎn)擊“插入列（前）”按鈕或“插入列（后）”按鈕，操作結(jié)果是一樣的，插入的列都是當(dāng)前工藝文件的第一列。新列的默認(rèn)值如下：執(zhí)行次數(shù)＝執(zhí)行1次持續(xù)時(shí)間＝00:00:00計(jì)時(shí)起點(diǎn)＝溫度溫度＝0壓力＝0開關(guān)量＝無動作，背景色為白色模擬量＝空。178。 若當(dāng)前工藝文件已經(jīng)定義有步驟，點(diǎn)擊“插入列（前）”按鈕或“插入列（后）”按鈕可在當(dāng)前選中的單元格所在列的前或者后插入列。開關(guān)量的背景色與前列相同。216。 刪除列：點(diǎn)擊列標(biāo)題以選擇整列，再點(diǎn)擊“刪除列”按鈕，系統(tǒng)將彈出確認(rèn)信息，如下圖所示 點(diǎn)擊“是”按鈕以刪除一列，點(diǎn)擊“否”按鈕以取消對選中列的刪除。216。 列左（右）移：點(diǎn)擊列標(biāo)題以選擇整列，再點(diǎn)擊“列左移”按鈕或“列右移”按鈕，以修改步驟的執(zhí)行順序。u 修改模擬量部件的操作216。 增加部件操作：當(dāng)單元格為空白時(shí)表示當(dāng)前部件沒有定義操作，要定義操作直接雙擊單元格進(jìn)入編輯狀態(tài)，鍵入操作的設(shè)定值，該設(shè)定值不能超過部件的上下限。與此同時(shí)，計(jì)時(shí)起點(diǎn)下拉框中的項(xiàng)目也會同步改變，即增加相應(yīng)的部件項(xiàng)目。216。 修改部件操作：雙擊單元格進(jìn)入模擬量編輯時(shí)，自動顯示該部件最近設(shè)置的置，輸入新的值，即完成修改。216。 刪除部件操作：要?jiǎng)h除單元格的操作，單擊單元格（不要雙擊），在單元格的非編輯狀態(tài)下點(diǎn)擊del鍵即可，刪除成功后單元格會顯示為空白。若刪除的部件操作是當(dāng)前步驟的計(jì)時(shí)起點(diǎn)，則會彈出如下提示對話框： 點(diǎn)擊“確定”按鈕。進(jìn)行刪除部件操作后，計(jì)時(shí)起點(diǎn)下拉框中的項(xiàng)目也會同步改變，即刪除相應(yīng)的部件項(xiàng)目。u 修改開關(guān)量部件的操作216。 無動作：選擇“無動作”表示該部件沒有定義操作，即刪除當(dāng)前定義的操作，并同時(shí)修改當(dāng)前單元格和后面連續(xù)“無動作“的單元格的背景色與前列同。216。 其他（OPEN/CLOSE,RUN/VENT,H2/AsH3,…）:執(zhí)行相應(yīng)的動作。選擇了某個(gè)動作后，該開關(guān)量后面的定義為“無動作”的開關(guān)量背景色保持與該動作相同。如下圖所示: 執(zhí)行工藝流程u 模擬執(zhí)行：勾選后，可以選擇單步執(zhí)行也可以選擇自動執(zhí)行，但是不發(fā)送命令，無需連接硬件設(shè)備。u 單步執(zhí)行：僅執(zhí)行光標(biāo)所在的列的操作。216。 沒有選中步驟/誤選了整行： 彈出如下提示對話框 216。 選擇多列：可同時(shí)選中多列，但執(zhí)行時(shí)執(zhí)行所選列的首列 。 u 自動執(zhí)行：自動執(zhí)行工藝步驟 。若沒有定義步驟：彈出如下對話框 在自動執(zhí)行工藝時(shí)候，可進(jìn)行如下操作：216。 暫停計(jì)時(shí)：暫停步驟用時(shí)的計(jì)時(shí)，但總用時(shí)不停止計(jì)時(shí)。216。 下一步：按照循環(huán)次數(shù)和步驟的執(zhí)行次數(shù)定義的順序執(zhí)行下一個(gè)步驟。注意：工藝執(zhí)行過程中也可以設(shè)置模擬量和開關(guān)量，注意保持狀態(tài)參數(shù)的一致性。 故障告警列表l 告警：包括故障告警和超限告警。故障告警列表顯示20個(gè)開關(guān)量輸入的狀態(tài)，當(dāng)發(fā)生故障告警時(shí)會以紅色顯示告警開關(guān)量的輸入。故障告警列表界面如下：u 故障碼：故障的代碼標(biāo)識，共有二十個(gè)。u 狀 態(tài)：沒有發(fā)生故障時(shí)，狀態(tài)顯示為“無告警”；發(fā)生故障時(shí)，狀態(tài)為相對應(yīng)告 警開關(guān)量的輸入，并以紅色字體顯示。 故障告警動作列表故障告警動作列表，是發(fā)生故障時(shí)，系統(tǒng)要執(zhí)行的一系列動作，以盡量避免由于故障而造成的危險(xiǎn)。用戶可以自定義故障告警動作列表。故障告警列表界面如下：動作3......20,與故障告警列表中的20個(gè)故障碼一一對應(yīng)。如果發(fā)生故障的故障碼為1，則執(zhí)行動作1。u 編輯故障告警動作列表勾選編輯，進(jìn)入編輯狀態(tài)，只有在編輯狀態(tài)下才可以編輯故障告警動作列表。其編輯過程與工藝流程的動作編輯一樣。u 故障響應(yīng)動作的執(zhí)行 當(dāng)發(fā)生故障告警時(shí)系統(tǒng)除了會以紅色顯示告警的開關(guān)量輸入，同時(shí)將執(zhí)行定義的故障動作。如果在故障響應(yīng)動作執(zhí)行時(shí)正在自動執(zhí)行工藝則立刻停止工藝的自動執(zhí)行。如果在10秒鐘內(nèi)發(fā)生相同的故障告警，則暫不執(zhí)行動作（即10秒鐘內(nèi)相同的故障響應(yīng)動作只執(zhí)行1次）。 狀態(tài)欄 狀態(tài)欄位于主界面的底部。狀態(tài)欄用以顯示當(dāng)前MOCVD監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行的一些狀態(tài)信息，如下圖所示：狀態(tài)欄的內(nèi)容從左到右依次為：提示信息（包括按鈕說明、開關(guān)量說明、模擬量說明），輪巡狀態(tài)，當(dāng)前日期和時(shí)間。第 36 頁 共 36
醫(yī)療健康相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1