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微加速度計(jì)的基本工作原理及工作特點(diǎn)-資料下載頁

2025-08-05 06:55本頁面
  

【正文】 理及工作特點(diǎn) 隧道效應(yīng)型微加速度計(jì) ?優(yōu)點(diǎn): ?極高的 靈敏度 ?易檢測(cè) ?線性 度 好 ?溫 漂 小 ?抗干擾 能力 強(qiáng) ?可靠性高 ?缺點(diǎn): ?隧道 針尖制作比較 復(fù)雜 ?工藝比較困難,成品率低 ? ?e x ptu n tu nI v x????目錄 微加速度計(jì)簡介 微加速度計(jì)分類 基本工作原理及工作特點(diǎn) 總結(jié) 類型 原理 優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn) 壓阻式 根據(jù)壓阻效應(yīng),利用擴(kuò)散電阻的阻值變化來感應(yīng)加速度變化。 加工工藝簡單,測(cè)量方法易行,測(cè)量范圍寬,線性度好,重復(fù)生產(chǎn)性好。 溫度效應(yīng)嚴(yán)重,溫度系數(shù)打,靈敏度低。 電容式 利用敏感質(zhì)量塊與固定電極間距離變化來檢測(cè)加速度變化。 結(jié)構(gòu)簡單,漂移低,溫度效應(yīng)小,靈敏度相對(duì)較高,功耗小。差動(dòng)式有較好線性度。 讀出電路復(fù)雜,易受寄生電容影響和電磁干擾。 壓電式 根據(jù)壓電效應(yīng),利用壓電膜壓縮量來檢測(cè)加速度變化。 結(jié)構(gòu)簡單,頻率響應(yīng)范圍很快,有很好的線性度。 分辨率低,溫漂較大,壓敏電阻制作困難 隧道電流式 利用隧道電流對(duì)位移變化的敏感性測(cè)量加速度變化。 極高靈敏度和線性度,非常寬的頻響范圍,穩(wěn)定性好,可靠性高,抗干擾能力強(qiáng),溫漂小。 信號(hào)噪聲大,工作電壓高,加工困難,成品率低。 總結(jié) 對(duì)比 總結(jié) 發(fā)展 ? 制作工藝 ? 結(jié)構(gòu)優(yōu)化 ? 仿真技術(shù) 謝謝!
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