微加速度計的基本工作原理及工作特點-資料下載頁
2025-08-05 06:55本頁面
【正文】 理及工作特點 隧道效應(yīng)型微加速度計 ?優(yōu)點： ?極高的 靈敏度 ?易檢測 ?線性 度 好 ?溫 漂 小 ?抗干擾 能力 強 ?可靠性高 ?缺點： ?隧道 針尖制作比較 復(fù)雜 ?工藝比較困難，成品率低 ? ?e x ptu n tu nI v x????目錄 微加速度計簡介 微加速度計分類 基本工作原理及工作特點 總結(jié) 類型 原理 優(yōu)點 缺點 壓阻式 根據(jù)壓阻效應(yīng)，利用擴散電阻的阻值變化來感應(yīng)加速度變化。 加工工藝簡單，測量方法易行，測量范圍寬，線性度好，重復(fù)生產(chǎn)性好。 溫度效應(yīng)嚴重，溫度系數(shù)打，靈敏度低。 電容式 利用敏感質(zhì)量塊與固定電極間距離變化來檢測加速度變化。 結(jié)構(gòu)簡單，漂移低，溫度效應(yīng)小，靈敏度相對較高，功耗小。差動式有較好線性度。 讀出電路復(fù)雜，易受寄生電容影響和電磁干擾。 壓電式 根據(jù)壓電效應(yīng)，利用壓電膜壓縮量來檢測加速度變化。 結(jié)構(gòu)簡單，頻率響應(yīng)范圍很快，有很好的線性度。 分辨率低，溫漂較大，壓敏電阻制作困難 隧道電流式 利用隧道電流對位移變化的敏感性測量加速度變化。 極高靈敏度和線性度，非常寬的頻響范圍，穩(wěn)定性好，可靠性高，抗干擾能力強，溫漂小。 信號噪聲大，工作電壓高，加工困難，成品率低。 總結(jié) 對比 總結(jié) 發(fā)展 ? 制作工藝 ? 結(jié)構(gòu)優(yōu)化 ? 仿真技術(shù) 謝謝！
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