微加速度計的基本工作原理及工作特點-文庫吧
2025-07-21 06:55 本頁面
【正文】 機械體加工加速度計 ?結構 形式 ： ? 梳齒式微機電加速度計 ? “蹺蹺板” 擺式 微機電加速度計 ? “三明治” 擺式 微機電加速度計 ? 靜電懸浮式微機電加速度計 ?敏感 軸 數(shù)量： ? 單軸微機電加速度計 ? 雙軸微機電加速度計 ? 三軸微機電加速度計 目錄 微加速度計簡介 微加速度計分類 基本工作原理及工作特點 總結 基本工作原理及工作特點 質(zhì)量塊的振動（移動） 質(zhì)量塊感知加速度 位移 發(fā)生變化 測量相應的物理量 整理后得到加速度 +m a k x c x m x??224412c c k m c c k mttmmamx q e q ek? ? ? ?? ? ? ? ? ?? ? ? ?? ? ? ?? ? ? ?? ? ?基本工作原理及工作特點 壓阻式微加速度計 ?壓阻效應： 在 一塊半導體的某一軸向施加 一定 的應力 時，其電阻率產(chǎn)生變化的現(xiàn)象 。 ?工作原理： 當 有加速度輸入時 , 懸臂梁在質(zhì)量塊受到的慣性力牽引下發(fā)生變形，導致 固連的 壓阻膜 也隨之發(fā)生 變形 ，其 電阻值就會由于壓阻效應而發(fā)生 變化，導致 壓阻兩端的 檢測電壓 值 （信號處理電路）發(fā)生變化，從而 可以通過確定的數(shù)學模型推導出輸入加速度與輸出電壓值的關系。 基本工作原理及工作特點 壓阻式微加速度計 ?最早 出現(xiàn)的微 加速
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