微加速度計的基本工作原理及工作特點(編輯修改稿)
2024-09-01 06:55 本頁面
【文章內容簡介】 度計 ?優(yōu)點： ?結構 簡單 , 芯片的制作相對 容易； ?并且接口 電路易于實現(xiàn) 。 ?缺點 : ?溫度系數(shù) 比較大 , 對 溫度敏感 。 ?靈敏度比 較低 。 ?蠕變 和遲滯效應比較明顯。 基本工作原理及工作特點 電容式微加速度計 ?基本原理 位移變化 → 電容變化 ?工作原理 質量 塊 由彈性 微梁支撐連接在基體上 , 檢測電容的一個極板 一般配置 在運動的質量塊上 , 一個極板配置在固定的 基體上。當有加速度作用時，質量塊發(fā)生位移，上下電容發(fā)生變化，可以得到 電容變化差值 ，進而得到加速度。 基本工作原理及工作特點 電容式微加速度計 ?優(yōu)點： ?靈敏度和測量精度 高 ?穩(wěn)定性好 ?溫度 漂移 小 ?功耗 極 低 ?過載 保護能力 較強 ?缺點： ?讀出電路復雜 ?易 受寄生電容影響和電磁干擾 基本工作原理及工作特點 電容扭擺式微加速度計 基本原理與電容式微加速度計相同，結構不同。 敏感 單元是不對稱質量 平板，通過 扭轉軸與基座 相連，基座 上表面布置有 固定電極，敏感 平板下表面有相應的運動 電極，形成 檢測 電容當 有加速度作用 時，不對稱 平板 在慣性 力作用 下，將 發(fā)生繞扭轉軸的 轉動。 當 質量平板發(fā)生偏移 時，可以 利用電容的靜電力來調節(jié)平板的偏轉 角度，提高 系統(tǒng)的 測量范圍，改善 系統(tǒng)的 動態(tài)特性 。
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