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南京大學(xué)-晶體生長課件-chapter-5-晶體生長動力學(xué)-資料下載頁

2025-08-05 03:39本頁面
  

【正文】 臺階以速度 ν∞ 沿界面運動掃過整個晶面 S, 生長出新的一結(jié)晶層,一個二維核掃過整個晶面所需要的時間為 ts ( 2 . 7 3 ) / ?? ?St s? ( 1)單核生長 ? 若 tnts, 這樣每隔時間 tn就生長一新的結(jié)晶層,于是晶面法向生長速率為 ? R≌ h / tn= h I S () ? 式中, h為生長臺階的高度。 ? 從式中可以看出,單核生長的特點是晶面法向生長速率 R與生長界面的面積成正比。 ? ( 2)多核生長 ? 當(dāng) tnts, 每生長出新的一層結(jié)晶層,用了很多個二維核生長,二維核的生長圖像,如 圖 。 二、非完整光滑面的生長 ? 非完整光滑面的生長是由于晶體中存在著位錯缺陷,例如螺旋位錯。由于這類臺階的存在,晶體生長過程中就不再需要形成二維臨界晶核,晶體在遠低于形成二維晶核所需要的過飽和度情況下就可生長,而且是呈連續(xù)螺旋式的生長。 ? 螺旋位錯露頭點所產(chǎn)生的螺旋臺階的形貌是多種多樣的。 ? 如果螺旋臺階的臺階能是各向同性的,臺階的擴展速度不隨臺階的移動方向而變化,晶面上所出現(xiàn)的螺蜷線成 圓形 ? 但如果臺階能是各向異性的,臺階的擴展速度便隨著臺階的取向而變化,可得到反映晶面對稱性的 多邊形 螺蜷線。 ? 如圖 ? 在晶體生長過程中有許多螺旋位錯露頭點,如果有一對異號螺旋位錯(旋轉(zhuǎn)方向相反),當(dāng)兩者的間距大于 2rc( rc為二維臨界晶核的半徑)時,則各自的臺階以類似的方式運動。 ? 如圖 考慮在生長界面上只有一個螺旋位錯露頭點所形成的穩(wěn)定圓形臺階的生長。 ? 若圓形臺階的曲率半徑為 ρ, 利用極坐標,求相應(yīng)擴散方程之解。 ? 單個圓形臺階的擴散速度近似為: ? υ(ρ)=υ∞(1 ρc/ ρ) () ? 式中, υ∞為單個直臺階的擴展速度; ρc為圓形臺階的臨界曲率半徑 ? ρc = γa/κTln α ≌ γa/κTσ () ? 式中, γ為每一個晶格點的臺階能; a為晶格常數(shù); κ為玻耳茲曼常數(shù); T為絕對溫度; α為飽和比; σ為過飽和度 螺旋位錯臺階的形狀與平均間距 λ0 ≌ 10ρc的阿基米德螺蜷線( Archimedes spiral) 相似,如圖 ? 那么,晶體的法向生長速率 R為 ? R= a/t ( ) ? 設(shè) t為臺階前進間距 λ0所需要的時間; a為每隔時間 t, 整個晶面增長一個分子的厚度 ? 時間 t也稱為螺蜷線在穩(wěn)定狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)一次的周期: ? t= λ/υ(λ0) () 按間距為 λ0的平行直臺階擴展速度計算 ? υ(λ0)= υ∞tan h(λ0/2xs) () ? 式中, xs為吸附原子的平均自由程; υ∞為單個直臺階的擴展速度 ? υ∞= 2σχsγ1exp(ω/κT) ? γ1為 吸附原子的上下振動頻率 ? ω = ωs+μ1; ωs是一個原子從扭折處移動到界面上所做的功; μ1為吸附原子的解吸能; ? tan h(λ0/2xs) 為雙曲線正切函數(shù),其值總小于 1或等于 1 根據(jù)式 , , ,可求出晶面法向生長速率 R與流體相過飽和度 σ的關(guān)系式: ? 當(dāng)流體的過飽和度 σ很小時,即 σσ1, tan σ/σ1≌ 1, 則晶面的法向生長速率 R與過飽和度 σ間成拋物線關(guān)系 ( 2 . 8 3 ) /10102 ( 2 . 8 2 ) /t an h)/ex p ( 2/t an h/2)/ex p (00111121001kTxaxxxkTaxxkTaRsccsssss??????????????????????????=可寫成式中,即 R= Aσ2 ,( ) ? 式中, A= aγ1/σ1exp(ω/κT) ? 當(dāng)流體相的過飽和度 σ很大時,即 σσ1, 這時 tan σ/σ1≌ σ/σ1 , 故 R與 σ間成線性關(guān)系,即 ? R =[A σ1] σ () 三、粗糙界面的生長 ? 完整、非完整光滑面以及其他類型的臺階面位置不同時,吸附原子具有不同的位能,只有扭折位置才是最易生長的位置。 ? 但粗糙界面上到處都是臺階和扭折,從而界面上所有位置都是生長位置,具有的位能都相等,吸附原子隨機進入晶格座位,不需要二維成核、不需要位錯露頭點和其他缺陷。 ? 晶體的生長過程僅取決于熱量和質(zhì)量輸運過程和原子進入晶格座位的馳豫時間。 ? 大多數(shù)熔體生長可認為是粗糙界面的生長。 ? 粗糙界面上的任何原子都具有同樣的位能,那么原子離開晶格座位和進入晶格座位能夠同時而且相互獨立進行,界面上所有位置都是生長位置。 ? 其生長機制不是依賴于臺階的橫向生長,而是隨機地直接向晶格座位堆砌,這種生長機制稱為法向生長機制。 ? 圖 化狀況 ? △ φ: 在平衡位置上晶相原子和液相原子的自由能的差值; ? △ φs: 晶相原子移動時所需要的激活自由能; ? △ φL: 液相原子移動時所需要的激活自由能; ? △ φ1: 一液相原子轉(zhuǎn)變?yōu)橐粋€晶相原子所需要的激活能 圖 ,由晶相進入液相的原子通量 ? 由液相進入晶相的原子通量為 ? h為 Plank常數(shù) ? 那么,從液相到晶相的凈得原子通量為 ? Q=QlsQsl () ( 2 . 8 6 ) ])(e x p [ 1kThkTQ sl ?? ?????( 2 . 8 7 ) ]/e x p [ 1 kThkTQ ls ???將上述 、 ,得到 ? 當(dāng)熔體晶體生長溫度 T接近于平衡溫度(熔點) Te時,△ φkT, 那么 ( 2 . 9 0 ) )]e x p (1) ] [[ e x p ( Rd( 2 . 8 9 ) )]e x p (1) ] [[ e x p ( 11kTkThkTddQkTkThkTQ?????????????????=度為,則晶體的法向生長速若原子堆砌一層厚度為( 2 . 91 ) )e x p (hT dR2 . 90 1)e x p (1kTkTkkTkT????????????? 式,則代入? 由于△ φ= △ gv( 單個原子由液相轉(zhuǎn)變?yōu)榫嗨鸬捏w系自由能的降低) ? 所以,對于熔體生長 ? 上式表明晶體的法向生長速率 R與熔體過冷度△ T成線性關(guān)系。只要△ T增加, R也增加,即不受限制生長。 ,得到代入將式為熔體的過冷度;為單個原子的熔化潛熱式中,( 2 . 9 2 ) 0TlTTlgslslv????( 2 . 9 3 ) )ex p ( )ex p (1001TkThTd k TkTTTlkThd k TR sl??????????四、擴散界面的生長 ? 擴散界面是一由液相緩慢轉(zhuǎn)變?yōu)榫嗟目臻g區(qū)域,這一區(qū)域具有許多原子層厚度。 ? Cahn為了討論一般固相內(nèi)發(fā)生相變時兩相界面的穩(wěn)定形態(tài)及其變化,提出了連續(xù)體模型。 ? 根據(jù)連續(xù)體模型處理的結(jié)果,界面自由能是界面位置的周期性函數(shù) ? σ( x)=σ0 [1+g(x)] () ? σ0為界面自由能 σ的最小值;當(dāng)界面層數(shù) n足夠大時, g(x)為 ? 界面自由能在固液界面連續(xù)移動的變化,如圖。 為晶格常數(shù)a ( 2 . 9 5 ) )21ex p ()]/2c o s (8[2)( 2344 naxnxg ??? ??? ?? 從式 ,隨著界面的連續(xù)移動,界面自由能 σ( x)的相對變化幅度 g(x), 對 n大而較平坦的界面, g(x)越小。 ? 從圖 ,隨著界面的平行移動,界面自由能的極大和極小變化,表現(xiàn)為晶格常數(shù) a的周期性特征。 ? 如果界面移動了 δx距離,那么相應(yīng)的界面自由能的變化量 δG為 ( 2 . 9 6 ) ])([ 0 xdx xdgGG ??? ? ???? 如果界面發(fā)生移動,則 δG0, 因此,當(dāng)界面移動一個晶格常數(shù) a的距離的條件為 ( 2 . 9 8 ) )( ( 2 . 9 7 ) ])()([ m a x0m a x0axgGxdxdgGvv?????????或1927年: Kossel 和 Stranski,光滑界面二維成核生長 模型 1949年: Frank,缺陷界面螺位錯生長模型 1951年: Burton, Cabrera, Frank,總結(jié),提出界面生 長動力學(xué)理論模型, BCF理論模型 1958年: Jackson,粗糙界面理論模型 1966年: Temkin,彌散界面理論模型 1973年: Hartman等,周期鍵鏈理論模型, PBC模型 90年代:仲維卓,負離子配位多面體生長基元理論模型 實驗研究手段 晶體生長界面的直接觀察:光學(xué)顯微鏡、相襯顯微鏡、 激光全息干涉術(shù) 缺點:或分辨率低、或?qū)嶒灄l件要求太高,難于對生長界面進行原子級、分子級結(jié)構(gòu)的觀察 原子力顯微鏡:分辨率高、可在大氣環(huán)境下工作 精確地實時觀察生長界面的原子、分子級分辨圖象,了解生長過程和生長機理
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