光電測(cè)試技術(shù)-n-資料下載頁(yè)
2025-07-26 18:25本頁(yè)面
【正文】 透鏡）后就能在觀察屏 8上看到亮點(diǎn)。亮點(diǎn)表示試件在這個(gè)對(duì)應(yīng)位置上存在缺陷。 ? 檢測(cè)大規(guī)模集成電路掩膜缺陷時(shí)，可以達(dá)到 測(cè)分辨力。 26 1 2 3 4 5 6 7 8 fFT fFT f1FT f1FT 缺陷光 1激光器 2可調(diào)衰減器 3帶小孔的擴(kuò)束器 4被測(cè)件 5傅里葉變換透鏡 6空間濾波器 7逆傅里葉變換透鏡 8觀察屏或光電檢測(cè)面 二次傅里葉變換檢測(cè)法原理圖 27 167。 63 衍射光柵 28 167。 63 衍射光柵 能夠使入射光的振幅或位相 ， 或者兩者同時(shí)產(chǎn)生周期性空間調(diào)制的光學(xué)元件叫做衍射光柵 。 ? 分類：根據(jù)利用反射光還是透射光，衍射光柵可分為反射光柵和透射光柵兩類；按它對(duì)入射光的調(diào)制方式又可分為振幅光柵和位相光柵；此外，還有矩形光柵和余弦光柵，一維、二維、三維光柵等。 ? 光柵種類雖然較多，但其主要應(yīng)用是作為分光元件，在光譜測(cè)試、光通信系統(tǒng)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。 ? 這里僅介紹幾種應(yīng)用。 29 衍射光柵的基本特性 光柵方程 ( s i n s i n )d i k???? 色散本領(lǐng) c o s c o sk l kfdd? ? ?? ? ? ? ? ?? ? ?分辨本領(lǐng) kN)N d c o s θλδθδλλ/ (Δ θ )δθδλλ/ (ΔλλΑ ??????30 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應(yīng)用例 ? 1．光譜儀 球面反射鏡 接收部分 譜面 閃耀光柵 轉(zhuǎn)臺(tái) 準(zhǔn)直部分 反射鏡 狹縫 聚光鏡 光源 利特羅自準(zhǔn)直光譜儀 31 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應(yīng)用例 ? 2．光波分復(fù)用器 自聚焦透鏡 輸出光纖 輸入光纖 λ1~λ5 光柵 玻璃楔 125μm 光柵型波分復(fù)用器結(jié)構(gòu)示意圖 λ1 λ5 32 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應(yīng)用例 ? 3．光纖光柵 ? 光纖光柵是最近幾年發(fā)展最為迅速的光纖無(wú)源器件之一。光纖光柵利用光纖材料的光敏性（外界入射光和摻鍺光纖纖芯內(nèi)鍺離子相互作用引起折射率的永久性變化），在纖芯內(nèi)形成空間相位光柵，其作用實(shí)質(zhì)上是纖芯內(nèi)形成一個(gè)窄帶的（透射或反射）濾波器或反射鏡。 ? 目前制作的光纖光柵反射率 R可達(dá) 98％，反射譜寬為 1nm。 33 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應(yīng)用例 ? 4． 光柵分束器 氦氖激光器 光柵 1 光柵 2 成像透鏡 濾波孔徑 干涉圖平面 偏振器 準(zhǔn)直鏡 待檢表面 掠 入射 干涉儀光路圖
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