光電測試技術-n-資料下載頁
2025-07-26 18:25本頁面
【正文】 透鏡）后就能在觀察屏 8上看到亮點。亮點表示試件在這個對應位置上存在缺陷。 ? 檢測大規(guī)模集成電路掩膜缺陷時，可以達到 測分辨力。 26 1 2 3 4 5 6 7 8 fFT fFT f1FT f1FT 缺陷光 1激光器 2可調衰減器 3帶小孔的擴束器 4被測件 5傅里葉變換透鏡 6空間濾波器 7逆傅里葉變換透鏡 8觀察屏或光電檢測面 二次傅里葉變換檢測法原理圖 27 167。 63 衍射光柵 28 167。 63 衍射光柵 能夠使入射光的振幅或位相 ， 或者兩者同時產生周期性空間調制的光學元件叫做衍射光柵 。 ? 分類：根據利用反射光還是透射光，衍射光柵可分為反射光柵和透射光柵兩類；按它對入射光的調制方式又可分為振幅光柵和位相光柵；此外，還有矩形光柵和余弦光柵，一維、二維、三維光柵等。 ? 光柵種類雖然較多，但其主要應用是作為分光元件，在光譜測試、光通信系統(tǒng)等領域有廣泛的應用。 ? 這里僅介紹幾種應用。 29 衍射光柵的基本特性 光柵方程 ( s i n s i n )d i k???? 色散本領 c o s c o sk l kfdd? ? ?? ? ? ? ? ?? ? ?分辨本領 kN)N d c o s θλδθδλλ/ (Δ θ )δθδλλ/ (ΔλλΑ ??????30 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應用例 ? 1．光譜儀 球面反射鏡 接收部分 譜面 閃耀光柵 轉臺 準直部分 反射鏡 狹縫 聚光鏡 光源 利特羅自準直光譜儀 31 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應用例 ? 2．光波分復用器 自聚焦透鏡 輸出光纖 輸入光纖 λ1~λ5 光柵 玻璃楔 125μm 光柵型波分復用器結構示意圖 λ1 λ5 32 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應用例 ? 3．光纖光柵 ? 光纖光柵是最近幾年發(fā)展最為迅速的光纖無源器件之一。光纖光柵利用光纖材料的光敏性（外界入射光和摻鍺光纖纖芯內鍺離子相互作用引起折射率的永久性變化），在纖芯內形成空間相位光柵，其作用實質上是纖芯內形成一個窄帶的（透射或反射）濾波器或反射鏡。 ? 目前制作的光纖光柵反射率 R可達 98％，反射譜寬為 1nm。 33 167。 63 衍射光柵 衍射光柵應用例 ? 4． 光柵分束器 氦氖激光器 光柵 1 光柵 2 成像透鏡 濾波孔徑 干涉圖平面 偏振器 準直鏡 待檢表面 掠 入射 干涉儀光路圖
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