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半導(dǎo)體器件習(xí)題及參考答案-資料下載頁

2025-07-04 22:18本頁面
  

【正文】 求得:,因此是增強(qiáng)型的。第五章1. 對于n溝和p溝兩種類型的n+多晶硅SiO2Si MOSFET,已知其襯底摻雜濃度都是1017cm3, ,Qf/q=51010cm2,d=10nm,試分別計(jì)算上述兩種類型MOS器件的閾值電壓。解:εSi=, εSiO2=對n溝MOSFET的閾值電壓為 其中,==*10-7F/cm2=-*107C/cm2 Qox=Qf=5101010-19=810-9C/cm2 代入上式得:= 因?yàn)閂T0,且為n溝MOSFET,所以該器件是增強(qiáng)型的。同理可得,pMOSFET的閾值電壓為 其中,==*10-7F/cm2=*107C/cm2 Qox=Qf=5101010-19=810-9C/cm2 代入上式得:= 因?yàn)閂Tp0,為p溝MOSFET,所以該器件是增強(qiáng)型的。2. 一個(gè)n溝MOSFET,Z=300μm,L=1μm,溝道電子遷移率750cm2/Vs,Cox=107F/cm2,VT=1V,求長溝道情況下,VGS=5V時(shí)的IDSat、速度飽和時(shí)的IDSat ,及兩種情況下的跨導(dǎo)。(載流子飽和速度為9106cm/s)解: 對于長溝道器件: ==飽和速度模型下,=
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