電學(xué)半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)-資料下載頁
2025-06-23 17:46本頁面
【正文】 學(xué)反應(yīng)處理。，照明及冷卻水的配合此三項(xiàng)系統(tǒng)在生產(chǎn)流程上的配合，一般都不容易察覺，但一有狀況，往往都有立即且嚴(yán)重的影響；因他們似乎很少發(fā)生問題，就如同空氣一般的普遍。不過由於資源的不足，常會有臨時(shí)限電，限水的事件發(fā)生，所以在電力供應(yīng)系統(tǒng)方面，都會設(shè)置不斷電系統(tǒng)及緊急電源以備不時(shí)之需。同時(shí)為了消除漏電的狀況，通常會設(shè)計(jì)安置一共同的接地電網(wǎng)，用來保障機(jī)器設(shè)備及人員的安全。照明系統(tǒng)亦甚為重要，無論平時(shí)或緊急照明裝置，都需保持明亮及舒適，否則容易影響工作的情緒及效率。另在冷卻水的供應(yīng)上，亦必須慎重，諸如出水的壓力，溫度及流量都必須適當(dāng)，不然即會對設(shè)備造成影響，甚至當(dāng)機(jī)。同時(shí)其水質(zhì)的純度，導(dǎo)電度以及防鏽的預(yù)防亦須留意，尤其在配備高週波電磁場的機(jī)臺冷卻上，更為重要。這些設(shè)備如射頻濺鍍機(jī)，電子迴旋共振蒸鍍或蝕刻設(shè)備，和電漿強(qiáng)化化學(xué)蒸鍍或蝕刻機(jī)等。當(dāng)冷卻水的導(dǎo)電鍍增加時(shí)，即會造成漏電的效應(yīng)而影響機(jī)合的操作參數(shù)；若防鏽不良會造成管路生鏽，堵塞等現(xiàn)象，以致影響冷卻的效果，造成設(shè)備的損傷。，及相關(guān)機(jī)房，系統(tǒng)的營繕支援工作潔淨(jìng)室的空間規(guī)劃，一般在建廠之初統(tǒng)一設(shè)計(jì)完善；但由於技術(shù)層次不斷地提升，因此機(jī)臺設(shè)備，生產(chǎn)流程必須隨時(shí)跟上半導(dǎo)體技術(shù)世代的演進(jìn)。於是新設(shè)備進(jìn)出潔淨(jìng)室的事件亦常有之，此時(shí)，就必須安排隔間工程，電力，氣體供應(yīng)，甚或排氣，排水等架設(shè)；於是需要一組系統(tǒng)營繕的支援人員資以配合。而負(fù)責(zé)此項(xiàng)工作的人員須對整個(gè)潔淨(jìng)室的結(jié)構(gòu)，特性，有相當(dāng)程度的熟悉方可勝任。、輔佐事故應(yīng)變的機(jī)動工作一座潔淨(jìng)室的運(yùn)作通常都是每天24小時(shí)不停歇的，所以必須要有人員隨時(shí)地監(jiān)控整個(gè)系統(tǒng)，包括空調(diào)的溫溼度，氣體或化學(xué)品的供應(yīng)，廢水及廢氣的處理；…等等，如此方能確保廠區(qū)的安全與正常的運(yùn)作。事實(shí)上，實(shí)驗(yàn)室可能出現(xiàn)一些緊急或危險(xiǎn)的事故，例如：毒氣外洩，火警，停電…等等，此時(shí)必須要有緊急應(yīng)變的處理人員予以處理，且通知人員做適當(dāng)?shù)膽?yīng)變或疏散，俾能降低損失。至於這些人員的挑選及訓(xùn)練都必須事前做好規(guī)劃，而且必須經(jīng)常提供適當(dāng)?shù)挠?xùn)練及演習(xí)，方能在緊急狀況發(fā)生時(shí)確保己身的安全下，做到廠區(qū)安全維護(hù)及災(zāi)害救援的任務(wù)。三、廠務(wù)工作的未來方向一個(gè)健全完整的廠務(wù)工作必須達(dá)到下述幾個(gè)目標(biāo)：：從設(shè)計(jì)時(shí)的事先預(yù)防規(guī)劃開始，到安裝有效的偵測系統(tǒng)，及最後的緊急事故之解決與撲滅上，都需全面顧及。：即減少對環(huán)境的影響，所以應(yīng)具體檢討生產(chǎn)流程，做到工業(yè)減廢，使廢水，廢氣及廢棄物減量，另再進(jìn)行回收或再生。 ：由增設(shè)備份設(shè)備及確定做到預(yù)防保養(yǎng)的方式，來提高各系統(tǒng)的可靠性。廠務(wù)系統(tǒng)的穩(wěn)定性為提高產(chǎn)品良率之必要因素，因此，舉凡環(huán)境的溫度高低，純水品質(zhì)，電壓品質(zhì)及氣體或化學(xué)品的供應(yīng)，均需保持甚高之穩(wěn)定性。：良好的廠務(wù)系統(tǒng)品質(zhì)可使生產(chǎn)或研發(fā)單位無後顧之憂，各系統(tǒng)之規(guī)劃設(shè)計(jì)均以知識的極限來考量，如以ppt(10M12為兆分之一)的單位來評估超純水及氣體的不純度。因此，避免可能的污染，以提高廠務(wù)系統(tǒng)的品質(zhì)，進(jìn)而確保產(chǎn)品的品質(zhì)。：廠區(qū)的彈性化設(shè)計(jì)，乃因應(yīng)日新月異的製程發(fā)展及生產(chǎn)設(shè)備異動的不二法門，也是延續(xù)工廠壽命及年限的方法。：人為高科技產(chǎn)業(yè)最大的資產(chǎn)，故人性化的考量乃新廠規(guī)劃中不可或缺的一環(huán)。四、結(jié)語廠務(wù)的工作是一項(xiàng)幕後，支援性的工作，但其重要性絕不亞於場區(qū)任一部門；甚且在壓力的承受上，更是過之而不及。但在具體的成果和績效的呈現(xiàn)上，都是較軟弱的一環(huán)，於是造成廠務(wù)的工作同仁有些莫名的情緒與反應(yīng)。因此，如何從工作中體念自身的重要性與成就感，進(jìn)而提昇自己的專業(yè)技能及對此項(xiàng)工作的認(rèn)同感，除了扮演廠務(wù)幕後英雄的角色外，更能擔(dān)任先進(jìn)技術(shù)開展的積極輔佐角色。因此，清楚自己事業(yè)生涯的定位與規(guī)劃，愉快而安定從事自己選擇的工作，進(jìn)而提供一穩(wěn)定，可靠的半導(dǎo)體場區(qū)環(huán)境，俾能含蘊(yùn)更完滿、先進(jìn)的半導(dǎo)體科技。
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