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半導(dǎo)體廠節(jié)能專題-資料下載頁(yè)

2025-06-09 23:21本頁(yè)面
  

【正文】 0。1r qT+e!r DZ*I 〔Q:泵浦流量(m3/sec);S:泵浦轉(zhuǎn)速(rpm);D:泵浦葉輪直徑 (mm);P:泵浦制動(dòng)功率 (Watt);H:揚(yáng)程 (m)〕$A%uUp2} G |ms*w9_三、應(yīng)用變頻器控制泵浦+Zy7\w+ciNJ |HmIkH 泵浦是以壓力加諸流體使其流動(dòng)之機(jī)器,可分為渦輪型及容積型。一般使用的泵浦多為渦輪型,主要可分為離心式、斜流式及軸流式,其中以離心式構(gòu)造最簡(jiǎn)單,價(jià)格最便宜,在空調(diào)使用也最為普遍。+O_{{x3v 以往泵浦均為定速運(yùn)轉(zhuǎn),若是要做流量之調(diào)整則須使用控制閥來(lái)控制流量,但節(jié)省能源有限,因此,近年來(lái)大都采用變頻器控制泵浦馬達(dá)轉(zhuǎn)速,以達(dá)節(jié)約用電的目的。尤其是一般大樓空調(diào)均使用密閉冰水系統(tǒng),所需之靜揚(yáng)程幾乎為零,絕大部分所需均為動(dòng)揚(yáng)程,包括水流速度所需及克服管路設(shè)備摩擦所需之動(dòng)揚(yáng)程,均與流速之平方成正比,即與水流量之平方成正比,故使用變頻器節(jié)能效果更易顯現(xiàn)。w/y}{amp。Hw圖3所示為泵浦特性曲線,由圖可知泵浦轉(zhuǎn)速由100%降低至50%,此時(shí)流量亦由100%降低至50%;揚(yáng)程由100%降低至25%時(shí),%時(shí)即可。換言之,以變頻器控制轉(zhuǎn)速調(diào)整流量至1/2時(shí),理論上軸動(dòng)力則僅需1/2的三次方,%之軸動(dòng)力就夠了。實(shí)際上若考慮變頻轉(zhuǎn)變效率約5%之全載損失因素后,估計(jì)約需20%的軸動(dòng)力,由此可知其節(jié)省電力之功效。T of9AVW(~ | fx圖3. 泵浦特性曲線U B!KkP~ y/tei39。| 1t39。H/C:x \G4V)U`{四、應(yīng)用變頻器控制風(fēng)機(jī)LF7bM 2O:N/t2GpqOamp。\)Q%^X送風(fēng)機(jī)所需之動(dòng)力與風(fēng)量三次方成正比,所以空調(diào)的送風(fēng)系統(tǒng)在部分負(fù)載時(shí),若能采用VAV系統(tǒng)(Variable Air Volume)改變送風(fēng)機(jī)之風(fēng)量,將可節(jié)省許多不必要之電力浪費(fèi)。一般大樓空調(diào)常見之風(fēng)量控制方法有下列三種:tLc3H1jv%~HV$AZ |.AX*@`2g 1. 入口閘門控制(inlet vane control)L U+nS%q%n 2. 出口閘門控制(discharge damper control)ajY6x!z kn3. 改變馬達(dá)轉(zhuǎn)速控制(variable speed motor control) \n*\ Kc9q 上述控制方法之風(fēng)扇動(dòng)力消耗與風(fēng)量的關(guān)系曲線如圖4所示,由圖可知使用變頻器來(lái)控制風(fēng)車,以改變馬達(dá)轉(zhuǎn)速為最佳而有效的節(jié)能方法。(K+PD8PD5w DQ qH39。](E,E 圖4. 風(fēng)扇動(dòng)力消耗與風(fēng)量的關(guān)系曲線*R.{!? 當(dāng)系統(tǒng)需求風(fēng)量減少時(shí),需要控制馬達(dá)降低送風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速,而當(dāng)送風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速降低時(shí),其性能曲線會(huì)降低至較低靜壓之曲線,每一個(gè)不同的轉(zhuǎn)速會(huì)有一條新的性能曲線且相互平行。一般而言,風(fēng)量降低時(shí)系統(tǒng)之靜壓損失減少,而送風(fēng)機(jī)因轉(zhuǎn)速降低也降低其產(chǎn)生之靜壓,圖5所示為變速風(fēng)機(jī)系統(tǒng)曲線與耗電量變化。V8hu5a+Zamp。a]_D^([6q@.Z:h+j 圖5. 變速風(fēng)機(jī)系統(tǒng)曲線與耗電量變化0g(bhYn,R]*z2J)b?RWEtk 空調(diào)系統(tǒng)已成為日常生活必需品,尤其是最近幾年空調(diào)系統(tǒng)成長(zhǎng)的速度更是驚人,除了公共場(chǎng)所及家中所使用的冷氣之外,工廠內(nèi)為了配合人員舒適需求或是因應(yīng)生產(chǎn)制程環(huán)境要求所使用的冷氣更是大幅成長(zhǎng),當(dāng)產(chǎn)品要求愈精致,空調(diào)的用電量就愈大。例如,以前的紡織廠是在門口噴水來(lái)增加廠房濕度就能滿足生產(chǎn)的需求,但如今因產(chǎn)品的精致化及機(jī)臺(tái)產(chǎn)量的增加,不僅是需要空調(diào)來(lái)排除機(jī)臺(tái)熱負(fù)載,對(duì)廠內(nèi)空氣溫濕度的要求更是愈來(lái)愈嚴(yán)格,其結(jié)果是造成空調(diào)負(fù)載及空調(diào)用電的增加。R R7X7We 又如目前最熱門的IC產(chǎn)業(yè),根據(jù)調(diào)查在同一廠房面積下,潔凈度每升高一級(jí)(例如由100級(jí)升為10級(jí)),其空調(diào)耗電量約增加三倍。因此,若能在不影響空調(diào)質(zhì)量的情況下,減少空調(diào)耗電量,即可達(dá)到空調(diào)節(jié)能的目標(biāo),而在眾多節(jié)能的方法中,變頻器的應(yīng)用亦是空調(diào)節(jié)能的利器之一,值得參考學(xué)習(xí)。 fRM2I1V rHse1. 蔡水源譯,「變頻器之省能源控制(基礎(chǔ)篇)」,電機(jī)月刊,1996年1月。 _:oP a%U~j2. 蔡水源譯,「變頻器之省能源控制(應(yīng)用篇)」,電機(jī)月刊,1996年1月。u[Y ? Xu%@ 3. 高文煌,「變頻器在大樓空調(diào)之控制與應(yīng)用」,電機(jī)月刊,1997年6月。6sh0hn^amp。Le6Q/P4. 吳思正,「變頻器的認(rèn)識(shí)與選用」,電機(jī)月刊,1997年7月。 hhnec 發(fā)表于 2007331 13:01冷凍空調(diào)之節(jié)電方式pp%aZ9TP壹、 前 言 貳、 智能型數(shù)字控制器簡(jiǎn)介_I9mRD3RDe+a p0GB$N9RXsX kFe參、 智能型數(shù)字控制器基本功能jr }:ook ,i。LR$?MSLT(Yr*qiY。Xfn39。k$s0g)tB■ 華菱冷凍設(shè)備有限公司 / 陳啟洲 ■!d5f,hXwF$xpyYP 一般而言,用電結(jié)構(gòu)中以冷凍空調(diào)系統(tǒng)之用電量為最高,而冷凍空調(diào)系統(tǒng)中又以壓縮機(jī)用電占了大宗,因此透過壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的有效管理與控制將可節(jié)省可觀的電費(fèi)。本文就一款智能型數(shù)字控制器的各種基本功能,說明其運(yùn)轉(zhuǎn)方法及對(duì)節(jié)能的幫助。%\P+Jkxt I4w )Uz%uS/v%Vp Y ???????????????????????TOPxH%b^ j+R _6c kamp。A xP7?d7{C DRamp。CF8Xh$Tg 隨著時(shí)代的進(jìn)步,人們?cè)谖镔|(zhì)層面上的需求日益多元化,產(chǎn)業(yè)界為追求各項(xiàng)物質(zhì)產(chǎn)品質(zhì)量之提升與穩(wěn)定,因此造就了冷凍空調(diào)設(shè)備的大量使用,冷氣機(jī)從以前被視為奢侈品演變至今成了生活必需品,結(jié)果使得用電需求大增。但在目前新能源的開發(fā)及取得不易之情況下,相對(duì)的,國(guó)人就必須在節(jié)約能源上付諸更多心力。3@s+bdVW:rVM于整個(gè)用電結(jié)構(gòu)中,冷凍空調(diào)設(shè)備用電所占的比例相當(dāng)?shù)母?,一般而言約占三~四成。若是在流通業(yè),如便利商店、超市或量販店等,用電比例更是高達(dá)五~七成,而國(guó)內(nèi)便利商店、超市、量販店林立,因此未來(lái)如何透過有效管理冷凍空調(diào)設(shè)備之用電,以達(dá)到節(jié)約能源目的,將是刻不容緩的課題。ftvb6X`]!K 冷凍空調(diào)之節(jié)電方式行之已久,除個(gè)人行為管理外,其應(yīng)用技術(shù)約有下述幾種:9msc ?@k0Q2p DY:C_ Ubpd* 儲(chǔ)冷式冷凍空調(diào)系統(tǒng)之應(yīng)用m|M4C\? IjC6t * 變頻系統(tǒng)(VRF)之應(yīng)用*Yh^:N NK * 可變風(fēng)量系統(tǒng)(VAV)之應(yīng)用B{UD/UKc * 可變冰水流量系統(tǒng)(VWV)之應(yīng)用D!EY/j39。|$rT* 全熱交換器之應(yīng)用iFl gx@j8S)aj * 熱回收系統(tǒng)之應(yīng)用 Fg RJR(@)~B* 冷卻水塔風(fēng)扇自動(dòng)控制之應(yīng)用 Od~0` G h JB * 氣冷式冷凝器自動(dòng)灑水系統(tǒng)之應(yīng)用r7H39。B9Vgd0j2NV5V a* 自然冷卻系統(tǒng),于春、秋及夏晚間停止主機(jī),僅送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)之應(yīng)用6F,q6yC:h} |2}$BM?* 新能源與廢熱之開發(fā)利用(如吸收式冷凍空調(diào)機(jī)之應(yīng)用)39。I2F:Gty7Hj0N a* 提高熱交換效率UWQ@n ^%x。u(m * 自動(dòng)控制器之應(yīng)用與能源管理之加強(qiáng)(降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間) :`39。?!CHan`T Y0{kU$Vg)D*ajFZ 現(xiàn)就上述最后一點(diǎn):自動(dòng)控制器之應(yīng)用與能源管理之加強(qiáng),作進(jìn)一步之說明。用電結(jié)構(gòu)中,冷凍空調(diào)系統(tǒng)用電占相當(dāng)大之比例,而冷凍空調(diào)系統(tǒng)中又以壓縮機(jī)用電所占比例最大;除大型壓縮機(jī)系統(tǒng)外,中小型系統(tǒng)壓縮機(jī)用電量約占八~九成,因此若能對(duì)壓縮機(jī)做適當(dāng)?shù)目刂疲瑢⒛苁∠驴捎^的電費(fèi),但是該如何控制?什么時(shí)間點(diǎn)下控制才適當(dāng)?*e`:XEKi 筆者于2003年初接觸到一款智能型數(shù)字控制器,在日本名為「Be Next」,它能自動(dòng)感知冷凍空調(diào)系統(tǒng)中壓縮機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況,而于適當(dāng)?shù)臅r(shí)間點(diǎn)下對(duì)壓縮機(jī)的稼動(dòng)作控制,因此,在空調(diào)機(jī)仍維持原舒適性與冷凍能力下,達(dá)成削減消費(fèi)電力量與降低契約容量目的。簡(jiǎn)而言之,如果一天24小時(shí)里壓縮機(jī)原本需要實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)18個(gè)小時(shí),若能使壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間減少為16個(gè)小時(shí),即減少運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)的電費(fèi),且根據(jù)筆者所知,省下2小時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)并不會(huì)對(duì)環(huán)境(空調(diào)的場(chǎng)合)或物品(冷凍的場(chǎng)合)造成任何影響。} O$Y(puN3_q它的原理是以30分鐘為一個(gè)循環(huán)單位(one cycle),在30分鐘里使壓縮機(jī)于適當(dāng)?shù)臅r(shí)間點(diǎn)下停止一到二次,每次停止時(shí)間為3~9分鐘(視控制率之設(shè)定而定,控制率設(shè)定為10%時(shí),30分鐘10%=3分鐘;當(dāng)控制率設(shè)定為30%時(shí),30分鐘30%=9分鐘??刂坡手O(shè)定可從0%~50%),因?yàn)橹挥袎嚎s機(jī)停止運(yùn)轉(zhuǎn),而在壓縮機(jī)停止的時(shí)間里,蒸發(fā)器風(fēng)扇仍繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)著,此時(shí)蒸發(fā)器仍有余冷,加上停止的時(shí)間甚短(3~9分鐘),所以不會(huì)對(duì)環(huán)境或物品造成嚴(yán)重影響。u。o+_N*s)Vvd 這套方法與臺(tái)電公司之「周期性暫停用電辦法」(中央空調(diào)系統(tǒng)每運(yùn)轉(zhuǎn)60分鐘暫停15分鐘;箱型空氣調(diào)節(jié)機(jī)每運(yùn)轉(zhuǎn)22分鐘暫停8分鐘)有些許相同的地方,即針對(duì)壓縮機(jī)每運(yùn)轉(zhuǎn)一段時(shí)間就施以短暫停止之控制,二者均可達(dá)到節(jié)電之目的,所不同的是臺(tái)電公司之「周期性暫停用電辦法」為強(qiáng)制性的控制,而此款智能型數(shù)字控制器則是于適當(dāng)?shù)臅r(shí)間點(diǎn)下控制壓縮機(jī),例如在冷凍系統(tǒng)除霜后的一段時(shí)間內(nèi),壓縮機(jī)不會(huì)有停止的動(dòng)作,除非其到達(dá)設(shè)定溫度。5p。W+W7J!S^E4U1a 此智能型數(shù)字控制器(如圖1)有別于一般之需量控制器。需量控制器一般裝設(shè)于總干線電路,而此控制器則裝置于各個(gè)冷凍機(jī)、空調(diào)機(jī)之回路;傳統(tǒng)之需量控制器是在每一定時(shí)間里,于預(yù)先設(shè)定的時(shí)間強(qiáng)制停止壓縮機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn),不管空調(diào)機(jī)的動(dòng)作狀態(tài)及控制對(duì)象之溫度,當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的時(shí)間點(diǎn)時(shí),強(qiáng)制的將機(jī)器設(shè)備停止或切換到低電力狀態(tài),是一種單純的控制方式,但這種控制方式的控制時(shí)刻點(diǎn)若遇上機(jī)器設(shè)備本身因溫度調(diào)節(jié)機(jī),使得壓縮機(jī)停止運(yùn)轉(zhuǎn)而僅成送風(fēng)狀態(tài)時(shí),將無(wú)法具有節(jié)省電力之效果。_6@o@,aX JH2zY,iCNv 圖1. 智能型數(shù)字控制器裝置實(shí)例 B*]m)ug5c%P?+j\sG39。d 再者,由于冷凍機(jī)、空調(diào)機(jī)一般是由溫度調(diào)節(jié)機(jī)來(lái)重復(fù)控制機(jī)器之啟動(dòng)及停止,當(dāng)機(jī)器剛運(yùn)轉(zhuǎn)或運(yùn)轉(zhuǎn)不久(即運(yùn)轉(zhuǎn)后,未持續(xù)一段時(shí)間)就受到強(qiáng)制性的停止,將無(wú)法達(dá)成冷凍或冷房之效果;又僅依控制時(shí)刻點(diǎn)來(lái)控制機(jī)器之啟動(dòng)、停止,忽視冷媒配管距離、冷凍油之回油時(shí)間及機(jī)器之溫度環(huán)境或壓力環(huán)境等因素,則將縮短機(jī)器之壽命。r u]$|,W`B1VT f 此外,當(dāng)壓縮機(jī)將要達(dá)到再啟動(dòng)的時(shí)間點(diǎn)時(shí),此時(shí)若強(qiáng)制使壓縮機(jī)由運(yùn)轉(zhuǎn)模式變成停止模式,這種情況長(zhǎng)時(shí)間下來(lái),冷凍機(jī)、空調(diào)機(jī)所搭載的微電腦有可能判斷為機(jī)器異常,致使機(jī)器本體的運(yùn)轉(zhuǎn)變成停止;而且同一室內(nèi)里設(shè)置多臺(tái)機(jī)器時(shí),壓縮機(jī)的動(dòng)作狀態(tài)若無(wú)關(guān)溫度時(shí),則多數(shù)機(jī)器有可能同時(shí)呈現(xiàn)送風(fēng)狀態(tài),因此室內(nèi)溫度會(huì)有急遽變化的問題。有鑒于上述種種問題,此款智能型數(shù)字控制器可于不影響溫度調(diào)節(jié)機(jī)的情況下,達(dá)到節(jié)省電力之目的,并且提供一套不直接碰觸操作控制部,即能控制電力的遠(yuǎn)程監(jiān)視控制裝置,其與一般常見的需量控制器比較見表1。B+Y39。Ru O39。N _ P`EGs 表1. 智能型數(shù)字控制器與需量控制器比較表9} C/dr,d ]h :nMp,Qa uG一般自動(dòng)控制裝置是由三個(gè)部分組合而成為一個(gè)控制系統(tǒng),如圖2。此智能型數(shù)字控制器的檢出部是由CT sensor所司掌,它負(fù)責(zé)偵測(cè)壓縮機(jī)之電流,并將偵測(cè)所得之?dāng)?shù)值傳到內(nèi)建之微處理器(CPU),再由CPU執(zhí)行比較→判斷→修正等工作步驟,然后再將指令下達(dá)給操作部(電驛Relay),由此控制對(duì)象(壓縮機(jī)),示意圖請(qǐng)參見圖圖4。}H\\samp。a yK[o,A5B1t圖2. 一般自動(dòng)控制裝置示意圖3KW+M[bk c O{*rB4B圖3. 控制器內(nèi)部區(qū)塊示意圖nn:ylZWyaH4z3b8HP 圖4. 智能型數(shù)字控制器接線圖 hhnec 發(fā)表于 2007331 13:46半導(dǎo)體廠潔凈室之節(jié)能措施壹、 前 言3o*Y{suw8vZ貳、 國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠潔凈室耗能之現(xiàn)況MU8Xy0y 參、 節(jié)約能源技術(shù)~ @A^gS }肆、 結(jié) 論39。B(WR5H)^u。U:xX ]。c伍、 參考文獻(xiàn):DX`p+P Aamp。KX0N tamp。E/R ■ 臺(tái)北科技大學(xué)冷凍空調(diào)研究所/蕭復(fù)文、胡石政、蔡炳煌 ■J]{:baKZ :] F$EK!n 潔凈室耗能為一般空調(diào)系統(tǒng)之5~10倍,在國(guó)內(nèi)自產(chǎn)能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴(yán)重的情況下,如何提升無(wú)塵室空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能技術(shù),以提升生產(chǎn)力與競(jìng)爭(zhēng)力,是我們必須面對(duì)的課題。`I!qz%km:RuZ 2H(YAy^8S/d,G+LfE8]:au近年來(lái),尖端科技產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,使得晶圓制造或光電技術(shù)層級(jí)從微米、次微米到奈米,這些產(chǎn)業(yè)的制程作業(yè)環(huán)境,若非于無(wú)塵室中進(jìn)行,其產(chǎn)品即無(wú)法達(dá)于精密尺度要求。3m L1y*{c6_+RCN/k目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的集積度提高,晶圓直徑大型化,而潔凈室耗能又為一般空調(diào)系統(tǒng)之5~10倍,因此能源消耗日益嚴(yán)重。為了維護(hù)地球環(huán)境生態(tài)與永續(xù)發(fā)展,我們應(yīng)善盡人類能源與資源之利用,努力提升無(wú)塵室空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能技術(shù),以增加生產(chǎn)力、競(jìng)爭(zhēng)力并滅少能源使用量。以下針對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠潔凈室耗能之現(xiàn)況以及節(jié)約能源技術(shù)作探討。【參考文獻(xiàn)1~6】f4n!n%_6x)Me hI |nW/B/L jX一般電子廠用電總設(shè)備容量約為數(shù)萬(wàn)馬力,契約容量亦為數(shù)千乃至數(shù)萬(wàn)瓦,全年電費(fèi)總額更高達(dá)數(shù)億元以上,可見半導(dǎo)體廠的耗能相當(dāng)驚人。為配合==之節(jié)能措施,并確切了解國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠之實(shí)際耗能狀況,特別針對(duì)國(guó)內(nèi)廠家進(jìn)行研究分析。一般半導(dǎo)體廠耗能流程示意圖如圖1。f%?[ R)s`1Vh 9tjS)s@Ey 圖1. 一般半導(dǎo)體廠耗能流程示意圖39。dXK/s+M2ZG4xKc筆者【參考文獻(xiàn)2】針對(duì)國(guó)內(nèi)九家制造廠實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)所消耗的電力,做深入統(tǒng)計(jì)研究報(bào)告, RT/m2, kWh/m2。以整廠耗能分布而言,%,其中含冰水機(jī)系統(tǒng)(%)、外氣處理系統(tǒng)、空氣循環(huán)系統(tǒng)、空壓系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、氮?dú)庀到y(tǒng)、制程冷卻、真空和超純水系統(tǒng)。%、辦公
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