【導(dǎo)讀】厚度和折射率在一個比較廣的范圍內(nèi)。特別是,在二邊緣位置的未測量的基礎(chǔ)上。我們將展示如何計算兩個表面分離距離(膜厚度)。我們討論了測量精度,盡管。在表面力裝置試驗(yàn)中,通常使用3或5層的干擾儀。適用于任何數(shù)量的層次,但是在這里我們使用3層干涉儀。當(dāng)透明的基質(zhì)層(通。常是云目表)接觸時,pth-order的邊緣位置0p?通常在可見光的波長范圍內(nèi)。板表面后,相隔的距離為d的位置形成三層干涉。邊緣轉(zhuǎn)移到更長的波長,他們。γ或μβ)和μmed分別是云母和中間介質(zhì)的折射率,在式中。的方程使其成為最常用的方法。除了實(shí)施不變以外,這也限制了可衡量的分離范圍,因?yàn)槟壳暗姆?。生微米尺度的誤差。順序條紋的距離。射率μ未知,這時需要計算出兩個帶有兩個位置量的方程,D和μmed。的基板制成的,遵守下列關(guān)系,觸邊緣位置和任何其他聯(lián)系邊緣位置有關(guān)聯(lián)。是不可見的,一種能夠計算出(p-m)(在完成mth邊緣的。的折射率非常的依賴薄弱。不考慮色散,例如,結(jié)果為: