x射線光譜分析ppt課件-資料下載頁
2025-05-07 12:14本頁面
【正文】 低的入射電子束能量可減少 X射線的激發(fā)體積，提高分辨率（但加速電壓必須大于被激發(fā)元素的電離能，對于 Z=11~30的元素， K層電子的臨界電離能在 1~10KeV，常選擇 E0=10~25KeV對于 Z大于 35的元素，一般都利用臨界電離能不太高的 L系或 M系譜線進行分析） 選用高的束流，保證信號的峰背比 44 工作方式 微區(qū)成分分析 線掃描 面掃描 45 46 Element Wt% At% CK OK AlK SiK ClK KK CaK FeK 47 線掃描分析 聚焦電子束在試樣沿一直線慢掃描，同時檢測某一指定特征 x射線的瞬時 I，得到特征 x射線 I沿試樣掃描線的分布。（元素的 濃度 分布） 直接在 SE像、 BE像上疊加，顯示掃描軌跡和 x射線 I分布曲線，直觀反映 元素濃度分布 與 組織結構之間的關系。 對于測定元素在材料相界和晶界上的 富集與貧化是十分有效的。 垂直于擴散界面的方向上進行線掃描，可以很快顯示濃度與擴散距離的關系曲線，若以微米級逐點分析，可相當精確測定擴散系數(shù)和激活能。 48 500 nm bon dcoat TGO Y PSZ a 0 , 0 0 , 5 1 , 0 1 , 5 2 , 00100200300CrCoNip o s i t i o n ( 181。 m )0501 0 01 5 02 0 02 5 03 0 0bT B Cb o n d c o a t T G OZrAlcountsA B 線掃描分析 49 圖為耐火材料－玻璃界面元素的變化規(guī)律，圖中直線為分析線（電子束掃描線）。研究發(fā)現(xiàn)，玻璃中 K, Na 等元素在界面附近的變化規(guī)律不同， K, Na離子非常容易擴散到耐火材料內(nèi)部，并進入耐火材料的玻璃相中，使耐火材料粘度大大下降，這是引起耐火材料解體的原因之一 50 面掃描分析 電子束在試樣表面進行面掃描，譜儀只檢測某一元素的特征 X射線位置，得到由許多亮點組成的圖像。亮點為元素的所在處，根據(jù)亮點的 疏密程度 可確定元素在試樣表面的 分布 情況。 準確顯示與基體成分不同的 夾雜物 的形狀，定性顯示元素 偏析 。 51 面掃描分析 亮區(qū)代表元素含量高，灰區(qū)代表元素含量較低，黑色區(qū)域代表元素含量很低或不存在。 52 53 C Al X射線像 1000 圖 a 背散射電子成分像 1000 圖 b Mg X射線像 1000 圖 圖 a 中的黑色相比基體 ZrO2相的平均原子序數(shù)低，從 b 和 c 圖可以看出， 黑色相富鋁和富鎂，實際上是鎂鋁尖晶石相。 54 55 注意： 線掃描、面掃描要求樣品表面平整，否則出現(xiàn)假象。 線掃描、面掃描只作定性分析，不作定量分析。 定量分析是一種半定量分析。 原因是：譜線強度與元素含量有關外，還與試樣的化學成分有關，通常稱為“基體效應”，譜儀對不同波長（或能量） X射線探測的效率不同。 56 電子探針應用 一種無損的微區(qū)分析，特別是成分及其分布。 對微區(qū)、微粒、微量的成分分析具有分析元素范圍廣、靈敏度高、可半定量等優(yōu)點，在各領域廣泛應用。（冶金、材料、生物、醫(yī)學、考古等） 57 總結 歷史 了解 原理 掌握 X射線熒光光譜儀 掌握 –波譜儀 –能譜儀 電子探針 掌握
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