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mems基本結(jié)構(gòu)ppt課件-資料下載頁

2025-05-05 18:19本頁面
  

【正文】 右 。 ? 亞胺化 – 從 100℃ 起 , 緩慢升溫到 300℃ , 6~7小時(shí) ,300℃ 保持 2小時(shí); – 從 100℃ 起 , 每次升溫 50℃ , 保溫 ~2小時(shí) ,直至 300℃ 保溫 2小時(shí) 。 MEMS工藝專題作業(yè) ? 2022年后 參考文獻(xiàn)上查找某種 MEMS器件的制作工藝,要求所用 工藝環(huán)節(jié)不少于 5種 。 ? 課題與 MEMS相關(guān)的,可以針對(duì)自己的設(shè)計(jì)做報(bào)告。 ? 讀懂制作過程,寫出工藝報(bào)告。 ? 報(bào)告包括 工藝簡(jiǎn)圖 和 流程說明 。 ? EMAIL: ? Deadline: 2022年 4月 20日
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