【正文】
下式計算得到: tunability%=[εr(0)εr(app)]/εr(0) 100% 上式中 εr(0)、 εr(app)分別為不加偏壓、加偏壓時鐵電材料的介電系數(shù)。 (5123) ACdr0?? ? (5122) CV曲線測量 TH2828精密 LCR數(shù)字電橋,四端對測 測試夾具 HP4284A精密 LCR數(shù)字電橋,四端對測測試夾具 (a) CV曲線 (b) εrE曲線 2 0 1 0 0 10 20150160170180190200210220230Capacitance (pF)Voltage (V) C(a) (b) ?tgTF O M %? (5124) 優(yōu)值 (FOM)定義為: 第五章第一節(jié)完 回目錄 第六章 1 5 0 0 1 0 0 0 5 0 0 0 500 1000 1500 1 050510Polarization (mC/cm2)Elec tr i c f i el d (k V / cm ) BBa= 1 5 0 0 1 0 0 0 5 0 0 0 500 1000 1500 1 5 1 05051015Polarization (mC/cm2)Ele c tr ic f ie ld (k V/cm ) BBa= 1 5 0 0 1 0 0 0 5 0 0 0 500 1000 1500864202468Polarization (mC/cm2)Ele c tr ic f ie ld (k V/c m ) BBa= 圖 520 BaxSr1xTiO3陶瓷的電滯回線 Radiant Precision LC material analyzer 2 0 1 0 0 10 201 51 05051015Polarization (mC/cm2)El ec tric Fie ld ( kV /c m) DZr= EC=Pr=20 10 0 10 2015105051015Polarization (mC/cm2)El ec tric Fie ld ( kV /c m) DZr= EC=Pr=20 10 0 10 2015105051015Polarization (mC/cm2)El ec tri c Fi el d (k V/cm ) DZr= EC=Pr=20 10 0 10 2015105051015Polarization (mC/cm2)El ec tri c Fi el d (k V/cm ) DZr= EC=Pr=圖 521 BaZrxTi1xO3陶瓷的電滯回線 2 0 1 0 0 10 201 050510Polarization (mC/cm2)Vo ltage (V) B圖 522 、 BaZrxTi1xO3薄膜的電滯回線 )s i n (c o s])55s i n (5)33s i n (3)s i n ([????????????????????????tCUtctbtaCUQximxsm(516) )t(])t(5)t()t([110xim5533110xsmRωsi nc o sc o sCCU5 γ5 ωsi nc o sc3 β3 ωsi nc o s3bαωsi na c o sCCUU0?????????????????????????????(519) )/1( 0 xxi RCa r ct g ?? ?)/1( 0001 RCa r ct g ?? ?為電導和感應極化所造成的滯后角 ?)3/1( 0003 RCa r ct g ?? ?)/1( 0001 RCa r ct g ?? ?)5/1( 0005 RCa r ct g ?? ?Qs Qs U Uc Qi U Qr U (a) (b) (c) Q U Qs Uc 圖 53 電荷 Qs、 Qi和 Qr與電壓的關系 圖 54 全電滯回線